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其中，直接燃燒法，又稱火焰燃燒法，它是把可燃的有機氣相污染物當作燃料來燃燒的一種方法。該法適合處理高濃度有機氣相污染物，燃燒溫度控制在11℃以上，去除效率達95%以上。催化燃燒是一種類似熱氧化的方式來處理有機氣相污染物的，它凈化有機物是用鉑、鈀等貴金屬催化劑及過渡金屬氧化物催化劑來代替火焰，操作溫度較熱氧化低一半，通常為25℃~5℃。由于溫度降低，允許使用標準材料來代替昂貴的特殊材料，大大地降低設備費用和操作費用。
