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KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP220 輔助濺射沉積 MnZn 鐵氧體薄膜

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產品價格: /人民幣 
最后更新: 2023-03-24 11:29:43
產品產地: 美國
發貨地: 上海 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
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  • 公司基本資料信息
    • 伯東企業(上海)有限公司
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    • 郵件marketing@hakuto-vacuum.cn
    • 手機15201951076
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    • 地址上海市浦東新區新金橋路1888號36號樓7樓702室 201206
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    產品詳細說明

    電子系統在快速發展, 但是磁性器件二維化而引發與三維塊材迥異的特性和制備工藝與半導體技術難以兼容的問題仍未能很好的解決. 因此 MnZn鐵氧體作為一種優良磁性器件用磁性材料, 對其進行薄膜化并研究其特性, 乃至最終制作成平面化、小型化的磁性器件顯得尤為重要.

     

    四川某實驗室采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP220  輔助磁控濺射沉積方法在 Si(100)/ Si(111) 和玻璃基片上原位沉積 MnZn 鐵氧體薄膜, 用以研究 MnZn 鐵氧體薄膜的低溫晶化、取向生長等問題.

     

    伯東 KRI 射頻離子源 RFICP220 技術參數:

    離子源型號

    RFICP220

    Discharge

    RFICP 射頻

    離子束流

    >800 mA

    離子動能

    100-1200 V

    柵極直徑

    20 cm Φ

    離子束

    聚焦,   平行,   散射

    流量

    10-40 sccm

    通氣

    Ar,   Kr,   Xe,   O2,   N2,   H2,   其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    長度

    30 cm

    直徑

    41 cm

    中和器

    LFN 2000

    * 可選: 燈絲中和器; 可變長度的增量

    KRI 射頻離子源 RFICP 220

    試驗中, 采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP220  輔助磁控濺射沉積的方法獲得均勻致密、大面積的 MnZn 鐵氧體薄膜, 沉積過程中通過調節參數, 從而改變薄膜厚度、晶粒尺寸, 得到多種規格的高性能的 MnZn 鐵氧體薄膜材料, 滿足各種試驗需求.

      

    KRI 離子源的獨特功能實現了更好的性能, 增強的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經獲得了理想的薄膜和表面特性, 而這些特性在不使用 KRI 離子源技術的情況下是無法實現的.

     

    因此,  該研究項目才采用 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP220 輔助濺射沉積工藝.

     

    伯東是德國 Pfeiffer 真空泵,  檢漏儀質譜儀真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的代理商.

     

    若您需要進一步的了解詳細信息或討論,   請參考以下聯絡方式:

    上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
    M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
    www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

    伯東版權所有,   翻拷必究!


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