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KRi 離子源 e-beam 電子束蒸發系統輔助鍍膜應用

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產品價格: /人民幣 
最后更新: 2023-03-20 09:52:56
產品產地: 美國
發貨地: 上海 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
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  • 公司基本資料信息
    • 伯東企業(上海)有限公司
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    產品詳細說明


    e-beam 電子束蒸發系統加裝 KRi 離子源作用
    通過向生長的薄膜中添加能量來增強分子動力學, 以增加表面和原子/分子的流動性, 從而導致薄膜的致密化.
    通過向生長薄膜中添加活性離子來增強薄膜化合物的化學轉化, 從而得到化學計量完整材料.

    使用美國 KRi 考夫曼離子源可以實現
    增強和控制薄膜性能, 薄膜致密化的改進, 控制薄膜化學計量, 提高折射率, 降低薄膜應力, 控制薄膜微觀結構和方向, 提高薄膜溫度和環境穩定性, 增加薄膜附著力, 激活表面, 薄膜界面和表面平滑, 降低薄膜吸收和散射, 增加硬度和耐磨性.


    KRi KDC 考夫曼離子源典型案例:
    設備: e-beam 電子束蒸發系統
    離子源型號: KDC 75
    應用: IBAD 輔助鍍膜, 在玻璃上鍍上高反射率膜 (光柵的鍍膜)
    離子源對工藝過程的優化: 無需加熱襯底對溫度敏感材料進行低溫處理, 簡化反應沉積

    上海伯東美國  KRi 離子源適用于各類沉積系統 (電子束蒸發或熱蒸發, 離子束濺射, 分子束外延, 脈沖激光沉積), 實現 IBAD 輔助鍍膜

    IBAD輔助鍍膜
     

    美國 KRi KDC 考夫曼離子源技術參數:

    型號

    KDC 10

    KDC 40

    KDC 75

    KDC 100

    KDC 160

    Discharge 陽極

    DC 電流

    DC 電流

    DC 電流

    DC 電流

    DC 電流

    離子束流

    >10 mA

    >100 mA

    >250 mA

    >400 mA

    >650 mA

    離子動能

    100-1200 V

    100-1200 V

    100-1200 V

    100-1200 V

    100-1200 V

    柵極直徑

    1 cm Φ

    4 cm Φ

    7.5 cm Φ

    12 cm Φ

    16 cm Φ

    離子束

    聚焦, 平行, 散射

     

    流量

    1-5 sccm

    2-10 sccm

    2-15 sccm

    2-20 sccm

    2-30 sccm

    通氣

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    < 0.5m Torr

    < 0.5m Torr

    < 0.5m Torr

    < 0.5m Torr

    長度

    11.5 cm

    17.1 cm

    20.1 cm

    23.5 cm

    25.2 cm

    直徑

    4 cm

    9 cm

    14 cm

    19.4 cm

    23.2 cm

    中和器

    燈絲

     

    上海伯東美國 KRi 離子源 KDC 系列適用于標準和新興材料工藝. 在原子水平上工作的能力使 KDC 離子源能夠有效地設計具有納米精度的薄膜和表面. 無論是密度壓實, 應力控制, 光學傳輸, 電阻率, 光滑表面, 提高附著力, 垂直側壁和臨界蝕刻深度, KDC 離子源都能產生有益的材料性能. 上海伯東是美國 KRi 離子源中國總代理.

    上海伯東同時提供 e-beam 電子束蒸發系統所需的渦輪分子泵真空規高真空插板閥等產品, 協助客戶生產研發更高質量的設備.

    1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發生產考夫曼離子源霍爾離子源射頻離子源. 美國考夫曼離子源歷經 40 年改良及發展已取得多項專利. 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 領域.


    若您需要進一步的了解詳細信息或討論,   請參考以下聯絡方式:

    上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
    M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
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