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KRi 考夫曼離子源表面預清潔 Pre-clean 應用

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產品價格: /人民幣 
最后更新: 2023-03-16 11:34:30
產品產地: 美國
發貨地: 上海 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
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    • 伯東企業(上海)有限公司
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    • 地址上海市浦東新區新金橋路1888號36號樓7樓702室 201206
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    產品詳細說明

    上海伯東代理美國 KRi 考夫曼離子源適用于安裝在 MBE 分子束外延, 濺射和蒸發系統, PLD 脈沖激光系統等, 在沉積前用離子轟擊表面, 進行預清潔 Pre-clean 的工藝, 對基材表面有機物清洗, 金屬氧化物的去除等, 提高沉積薄膜附著力, 純度, 應力, 工藝效率等!
    KRi 離子源預清潔可以實現
    去除物理吸附污染: 去除表面污染, 如水, 吸附氣體, 碳氫化合物殘留
    去除化學吸附污染: 去除天然和粘合材料. 如表面氧化物, 通常去除 < 100?
     

    考夫曼離子源
    KRi 考夫曼離子源表面預清潔 Pre-clean 應用
    實驗條件: 8寸硅片帶銅膜, 通氬氣, 60s
    污染物清除: 有機物,吸附氣體
    數據來源: 俄歇電子能譜 Auger spectra, 美國 KRi 原廠資料
    KRi 離子源預清潔


    KRi 考夫曼離子源表面預清潔 Pre-clean 應用
    實驗條件: 輕蝕刻, 硅片去除很薄的金屬膜, 通氬氣
    污染物清除: 去除金屬薄膜 (w/ Ni/Fe)
    數據來源:  美國 KRi 原廠資料
    考夫曼離子源,離子清洗

    1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發生產寬束離子源, 根據設計原理分為考夫曼離子源霍爾離子源射頻離子源. 美國考夫曼離子源歷經 40 年改良及發展已取得多項專利.
     

    上海伯東美國 KRi 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 和離子束拋光工藝 IBF 等領域, 上海伯東是美國 KRi 考夫曼離子源中國總代理.

    若您需要進一步的了解詳細信息或討論,   請參考以下聯絡方式:

    上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
    M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
    www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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