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上海伯東代理美國原裝進口 KRI 霍爾離子源 eH200

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產品價格: /人民幣 
最后更新: 2023-03-16 10:31:58
產品產地: 美國
發貨地: 上海 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
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    • 伯東企業(上海)有限公司
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    產品詳細說明

    因產品配置不同, 價格貨期需要電議, 圖片僅供參考, 一切以實際成交合同為準

     

    霍爾離子源 eH 200

    KRI 霍爾離子源 eH 200
    上海伯東代理美國原裝進口 KRI 霍爾離子源 eH200 是霍爾離子源型 eH 系列中尺寸最小, 低成本設計離子源. 霍爾離子源 eH200 適用于小型真空腔內, 例如研發分析, 薄膜沉積和離子清洗. 霍爾離子源 eH200 操作簡單是理想的生產工具.
    KRI 霍爾離子源 eH 200 技術參數:

    型號

    eH 200

    供電

    DC magnetic confinement

      - 電壓

    40-300V VDC

      - 離子源直徑

    ~ 2 cm

      - 陽極結構

    模塊化

    電源控制

    eHx-3005A

    配置

    -

      - 陰極中和器

    Filament or Hollow Cathode

      - 離子束發散角度

    > 45° (hwhm)

      - 陽極

    標準或 Grooved

      - 水冷

      - 底座

    移動或快接法蘭

      - 高度

    2.0'

      - 直徑

    2.5'

      -加工材料

    金屬
    電介質
    半導體

      -工藝氣體

    Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors

      - 安裝距離

    6-24”

      - 自動控制

    控制4種氣體

    * 可選: 可調角度的支架; Filamentless; Sidewinder
    KRI 霍爾離子源 eH 200 應用領域:
    濺鍍和蒸發鍍膜 PC
    輔助鍍膜(光學鍍膜)IBAD
    表面改性, 激活 SM
    直接沉積 DD

    若您需要進一步的了解詳細信息或討論,   請參考以下聯絡方式:

    上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
    M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
    www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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