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KRI 離子源用于離子束濺射鍍制 Ge 納米薄膜的研究

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產(chǎn)品價(jià)格: 13/人民幣 
最后更新: 2020-10-19 11:11:22
產(chǎn)品產(chǎn)地: 美國(guó)
發(fā)貨地: 本地至全國(guó) (發(fā)貨期:當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量: 不限
有效期: 長(zhǎng)期有效
最少起訂: 1
瀏覽次數(shù): 136
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    • 伯東企業(yè)(上海)有限公司
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    產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明

    KRI 離子源用于離子束濺射鍍制 Ge 納米薄膜的研究


    在硅襯底上生長(zhǎng) Ge 量子點(diǎn)唄認(rèn)為是可能實(shí)現(xiàn) Si 基發(fā)光的重要途徑, 對(duì) Si 基光電子、微電子或單電子器件有重要影響.

     

    某研究所采用伯東 KRI 離子源用于離子束濺射鍍制 Ge 納米薄膜的研究.

     

    該研究采用的是 FJL560 III 型超高真空多靶磁控與離子束聯(lián)合濺射設(shè)備的離子束濺射室內(nèi)制備樣品, 生長(zhǎng)室的本底真空度低于 4x10-4Pa.

     

    其系統(tǒng)工作示意圖如下:

    該研究所的離子束濺射鍍膜組成系統(tǒng)主要由濺射室、離子源、濺射靶、基片臺(tái)等部分組成.

     

    用于濺射的離子源采用伯東的 KRI 聚焦型射頻離子源 380, 其參數(shù)如下:

     

    伯東 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 技術(shù)參數(shù):

    射頻離子源型號(hào)

    RFICP 380

    Discharge 陽(yáng)極

    射頻 RFICP

    離子束流

    >1500 mA

    離子動(dòng)能

    100-1200 V

    柵極直徑

    30 cm Φ

    離子束

    聚焦

    流量

    15-50 sccm

    通氣

    Ar,  Kr,  Xe,  O2,  N2,  H2,  其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    長(zhǎng)度

    39 cm

    直徑

    59 cm

    中和器

    LFN 2000

     

    推薦理由:

    聚焦型濺射離子源一方面可以增加束流密度,  提高濺射率; 另一方面減小離子束的散射面積,  減少散射的離子濺射在靶材以外的地方引起污染

     

    生長(zhǎng)室的本底真空度低于 4x10-4Pa,  經(jīng)推薦采用伯東泵組  Hicube 80 Pro,  其技術(shù)參數(shù)如下:

    分子泵組 Hicube 80 Pro 技術(shù)參數(shù):

    進(jìn)氣法蘭

    氮?dú)獬樗?br />  N2, l/s

    極限真空 hpa

    前級(jí)泵

    型號(hào)

    前級(jí)泵抽速
     m3/h

    前級(jí)真空
    安全閥

    DN 40 ISO-KF

    35

    < 1X10-7

    Pascal 2021

    18

    AVC 025 MA

     

    運(yùn)行結(jié)果:

    得到了尺寸較均勻的 Ge 島,  島的數(shù)量也很多.

     

    伯東是德國(guó) Pfeiffer 真空泵檢漏儀質(zhì)譜儀真空計(jì), 美國(guó) KRI 考夫曼離子源, 美國(guó)HVA 真空閥門, 美國(guó) inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī), 美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.

     

     

    若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式:

    上海伯東: 羅先生                               臺(tái)灣伯東: 王女士
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
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