家家通 | 所有行業 | 所有企業 加入家家通,生意很輕松! ·免費注冊 ·登陸家家通 ·設為首頁
關于我們
關于我們
今日加盟
今日加盟
會員中心
會員中心
 
當前位置: 首頁 » 供應產品 » » 真空泵 »KRI 離子源用于離子束濺射鍍制 Ge 納米薄膜的研究

KRI 離子源用于離子束濺射鍍制 Ge 納米薄膜的研究

<%=cpname%>
產品價格: 13/人民幣 
最后更新: 2020-10-19 11:11:22
產品產地: 美國
發貨地: 本地至全國 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
瀏覽次數: 134
詢價  試用會員產品
  • 公司基本資料信息
    • 伯東企業(上海)有限公司
    • 先生 
    • 會員[試用會員產品]
    • 郵件marketing@hakuto-vacuum.cn
    • 手機15201951076
    • 電話
    • 傳真
    • 地址上海市浦東新區新金橋路1888號36號樓7樓702室 201206
    • 進入商鋪
     
    產品詳細說明

    KRI 離子源用于離子束濺射鍍制 Ge 納米薄膜的研究


    在硅襯底上生長 Ge 量子點唄認為是可能實現 Si 基發光的重要途徑, 對 Si 基光電子、微電子或單電子器件有重要影響.

     

    某研究所采用伯東 KRI 離子源用于離子束濺射鍍制 Ge 納米薄膜的研究.

     

    該研究采用的是 FJL560 III 型超高真空多靶磁控與離子束聯合濺射設備的離子束濺射室內制備樣品, 生長室的本底真空度低于 4x10-4Pa.

     

    其系統工作示意圖如下:

    該研究所的離子束濺射鍍膜組成系統主要由濺射室、離子源、濺射靶、基片臺等部分組成.

     

    用于濺射的離子源采用伯東的 KRI 聚焦型射頻離子源 380, 其參數如下:

     

    伯東 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 技術參數:

    射頻離子源型號

    RFICP 380

    Discharge 陽極

    射頻 RFICP

    離子束流

    >1500 mA

    離子動能

    100-1200 V

    柵極直徑

    30 cm Φ

    離子束

    聚焦

    流量

    15-50 sccm

    通氣

    Ar,  Kr,  Xe,  O2,  N2,  H2,  其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    長度

    39 cm

    直徑

    59 cm

    中和器

    LFN 2000

     

    推薦理由:

    聚焦型濺射離子源一方面可以增加束流密度,  提高濺射率; 另一方面減小離子束的散射面積,  減少散射的離子濺射在靶材以外的地方引起污染

     

    生長室的本底真空度低于 4x10-4Pa,  經推薦采用伯東泵組  Hicube 80 Pro,  其技術參數如下:

    分子泵組 Hicube 80 Pro 技術參數:

    進氣法蘭

    氮氣抽速
     N2, l/s

    極限真空 hpa

    前級泵

    型號

    前級泵抽速
     m3/h

    前級真空
    安全閥

    DN 40 ISO-KF

    35

    < 1X10-7

    Pascal 2021

    18

    AVC 025 MA

     

    運行結果:

    得到了尺寸較均勻的 Ge 島,  島的數量也很多.

     

    伯東是德國 Pfeiffer 真空泵檢漏儀質譜儀真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

     

     

    若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式:

    上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
    M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
    ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
    www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

    伯東版權所有, 翻拷必究!


    在線詢盤/留言 請仔細填寫準確及時的聯系到你!
    您的姓名: * 預計需求數量: *    
    聯系手機: * 移動電話或傳真:
    電子郵件: * 所在單位:
    咨詢內容:
    *
     
    更多..本企業其它產品

    機電之家網 - 機電行業權威網絡宣傳媒體

    Copyright 2025 jdzj.com All Rights Reserved??技術支持:機電之家 服務熱線:0571-87774297

    網站經營許可證:浙B2-20080178-4

    主站蜘蛛池模板: 亚洲成av人片在线观看无码不卡| 啊~又多了一根手指| 91精品国产免费久久久久久青草| 成人国产精品免费视频| 久久伊人中文字幕| 欧美一区二区三区在线观看| 亚洲精品自产拍在线观看| 精品久久久久久久免费人妻 | 久久99精品久久久| 日韩欧美亚洲国产精品字幕久久久 | 久久久久国产一区二区三区| 日韩高清一区二区三区不卡| 亚洲人成片在线观看| 欧美福利一区二区三区| 亚洲综合校园春色| 玩山村女娃的小屁股| 免费观看一级毛片| 精品国产精品国产| 啊…别了在线观看免费下载| 色八a级在线观看| 国产乱码精品一区二区三区中 | 天天综合网久久| 一二三四免费观看在线电影中文| 成人爽a毛片在线视频| 中日欧洲精品视频在线| 日本人指教视频| 久久亚洲国产伦理| 日本高清不卡码| 久久嫩草影院免费看夜色| 日韩欧美综合视频| 久久综合九九亚洲一区| 明星ai换脸资源在线播放| 亚洲Av人人澡人人爽人人夜夜| 欧美一级特黄乱妇高清视频| 亚洲免费黄色网址| 欧美又大又粗又爽视频| 亚洲午夜无码久久久久小说| 欧美人与禽交另类视频| 亚洲免费网站在线观看| 欧美一区二区久久精品| 亚洲av片不卡无码久久|