產(chǎn)品名稱：ATOVAC真空計（增強對流計）EG301

產(chǎn)品型號：EG301

產(chǎn)品介紹

通常安裝在真空室內(nèi)，它是一個讀取真空室內(nèi)實際壓力的儀表，需要+24 VDC（可能為15 VDC）電源。EG301增強型對流壓力計具有3~10 VDC信號輸出，用于半導(dǎo)體工藝和真空設(shè)備。

性能特點

l 可以進行大范圍的壓力測量（2.0 X 10^-4至760 Torr）。

l 高精度和增加的占地面積效率。

l 提供模擬輸出，以便直接連接到PLC和其他設(shè)備進行顯示。

l 由于采用了7段LED，因此可以遠距離讀取。

l PC可以使用RS-485進行控制。

l 提供兩個設(shè)置點用于外部設(shè)備和過程。

l 它可以以低成本維修（更換傳感器導(dǎo)線）。

l 可單獨使用，無需控制器。

技術(shù)參數(shù)

輸入功率：+24伏直流電（可能15伏直流電)

輸出功率：+3 VDC至10 VDC

工作溫度：0~50℃

壓力范圍：2.0 X 10^-4~760Torr

顯示窗口：7段LED

顯示單元：托爾（Torr）

安裝位置：水平

細絲：鉑99.999%

法蘭：NW16 ISO-KF、NW25 ISO-KF，1/4 VCR內(nèi)螺紋，CF法蘭

界面：模擬輸出，RS-485，2個設(shè)定點