精密測量激光干涉儀

SJ6000精密測量激光干涉儀環境適應能力好，以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點。使用激光干涉儀測量定位誤差，并用檢定軟件進行記錄，可以輕松獲取軸上多點測量的誤差表。這些誤差能夠被轉譯成補償值，在相應機床控制器軟件位置進行補償值的寫入，實現機床的定位誤差補償（螺距補償）、反向間隙補償。

產品功能

（1）可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）可實現對機床回轉軸的測量與校準；

（4）可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

（5）SJ6000精密測量激光干涉儀具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；

（6）支持手動或自動進行環境補償。

數控機床的傳動機構一般是滾珠絲桿副，滾珠絲桿副在生產制造和裝配過程中都存在一定誤差，且長期使用造成的磨損等因素都會使其精度下降，當前有效且廣泛應用的方法就是利用激光干涉儀對數控機床進行螺距誤差補償。

SJ6000精密測量激光干涉儀對機床運動導軌和滾珠絲桿的各項參數檢測分析、校準補償具有重要性，而機床在裝配、加工、生產的同時需要頻繁的使用到激光干涉儀，來進行多種幾何量精度參數的測量以及動態性能的測試、分析。