4軸圓柱坐標潔凈_防水式搬運機械手

產(chǎn)品價格：	/人民幣
最后更新：	2022-07-20 16:59:47
產(chǎn)品產(chǎn)地：	本地
發(fā)貨地：	本地至全國 (發(fā)貨期：當天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量：	不限
有效期：	長期有效
最少起訂：	1
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公司基本資料信息

深圳市衡鵬瑞和科技有限公司
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產(chǎn)品詳細說明

4軸圓柱坐標潔凈_防水式搬運機械手

4軸圓柱坐標潔凈_防水式搬運機械手特點：
防水4軸圓柱坐標型機械手STWCR4000系列（配備300 mm晶圓翻轉(zhuǎn)機構(gòu)+邊緣夾持機構(gòu)）
能夠在酸性，堿性霧氣環(huán)境下搬運半導(dǎo)體晶圓
機械手臂標準臂長：160 mm、200 mm
手臂部分采用特氟龍鍍層保證耐腐蝕性
手臂關(guān)節(jié)部位防水結(jié)構(gòu)使用V型密封圈
零件之間的結(jié)合面采用Viton材質(zhì)的密封條
Z軸的防水結(jié)構(gòu)可以使用蛇腹管
雙臂結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
配備動作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用2相步進電機
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓
晶圓固定方式: 真空吸附式，下托式，邊緣夾持式
可以針對搬運物體，客戶設(shè)備布局的實際情況提供手指

防水4軸圓柱坐標潔凈機械手臂基本參數(shù)：
使用環(huán)境潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂雙臂
到達距離 315mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達距離)
升降軸行程 300mm
可搬運質(zhì)量 3kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準)

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