三甲基氯硅烷（分子式：(CH3)3SiCl），也稱氯化三甲基硅烷、氯代三甲基硅烷、三甲基一氯硅烷，室溫下為無色液體，是鹵代硅烷的一種，在有機合成中有很多用途。它在無水情況下穩定，但遇水即分解，生成六甲基二硅氧烷和鹽酸。由氯甲烷與硅粉在氯化亞銅存在下反應并精餾提純獲得，也可由親核性甲基試劑如甲基鋰與四氯化硅發生親核取代反應制得。

中文名稱：三甲基氯硅烷

化學式：C3H9ClSi

CAS登錄號：75-77-4

熔點：-40℃

外觀：無色溶液

閃點：-18℃

分子量：108.64

英文名：trimethyl chlorosilane

密度：0.857g/cm3

沸點：57.3℃

無色透明液體。有揮發性，在潮濕空氣中易水解而成游離鹽酸。溶于苯和過氯乙烯。

儲存

密封陰涼干燥保存。

用途:用作硅酮油制造的中間體、憎水劑、分析用試劑、 聚硅酮液中間體、甲基硅油封頭劑、抗水劑。