解鍵合機(jī)智能測繪料籃內(nèi)晶圓，可對已鍵合晶圓進(jìn)行自動校正

產(chǎn)品價格：	/人民幣
最后更新：	2022-06-22 16:09:50
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供應(yīng)數(shù)量：	不限
有效期：	長期有效
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公司基本資料信息

深圳市衡鵬瑞和科技有限公司
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產(chǎn)品詳細(xì)說明

解鍵合機(jī)智能測繪料籃內(nèi)晶圓，可對已鍵合晶圓進(jìn)行自動校正

晶圓解鍵合機(jī) Wafer Debonding特點：
4”-8”/8”-12”晶圓適用，可應(yīng)對薄晶圓的解鍵合。
解鍵合機(jī)智能測繪料籃內(nèi)晶圓，兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料。
解鍵合機(jī)可對已鍵合晶圓進(jìn)行自動校正。
可定制真空熱壓/UV/激光等方式實現(xiàn)解鍵合（Wafer Debonding)。
晶圓解鍵合機(jī)配有高精度機(jī)械手，可自動撕除晶圓臨時鍵合所用到的膠膜。
解鍵合機(jī)可自動為晶圓貼覆切割膜。
可選配嵌入式紫外線照射模塊。
工控機(jī)+Windows系統(tǒng)。
SECS/GEM 或簡易聯(lián)網(wǎng)能力。

晶圓解鍵合機(jī) Wafer Debonding規(guī)格：
品名 Wafer Debonding（晶圓解鍵合機(jī)）
晶圓尺寸 4”-8”/8”-12”
支持基板玻璃
激光/UV/加熱器可選
晶圓切割膜覆蓋搭載
解鍵合機(jī)撕膜模塊搭載
晶圓盒形式兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料
其他 SECS/GEM 或簡易聯(lián)網(wǎng)能力

了解更多：http://www.hapoin.com/wafer_bonding_debonding/

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