薄膜測厚儀用于測量較軟或較硬材料薄膜厚度,根據測量材料可選擇不同測力范圍滿足不同測量任務需求。低測力可達0.06N,高分辨率0.01μm。
分辨率:0.1μm
測力:0.3-1.3N(根據需要選擇)
分辨率:1μm
測力:0.4-1.6N(根據需要選擇)
分辨率:0.01μm
測力:0.06-0.8N(根據需要選擇)
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