Pfeiffer HiPace 80渦輪分子泵
廣州潽拓光電科技有限公司維修德國普發渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 80 抽速可達到 71 l/s 高性能渦輪分子泵. HiPace 80 對所有氣體的高抽速和極高壓縮比使其廣泛應用于真空行業. 集成驅動電路, 適用于工業環境, 通過保護等級 IP54, 半導體 S2, UL / CSA 認證. 通過控制器監控運算數據保證分子泵的zui高安全性. 渦輪分子泵 HiPace 80 可以任意位置安裝. 自然風冷, 多種配件可選滿足廣泛應用.
渦輪分子泵HiPace 80 特性
穩健性工業設計和經過實踐證明的高可靠性分子泵軸承系統
結構緊湊, 滿足更小的安裝空間要求
分子泵高氣流量和高抽速
基本款任意角度安裝
防護等級 IP 54, 符合工業環境要求
可應用于腐蝕性氣體工藝
分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認證
分子泵應用 HiPace 80
分析儀器: 電子顯微鏡, 檢漏, 小型質譜, 表面分析, 殘余氣體分析
半導體: PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks
工業: 醫學技術, 工業檢漏, 隔離真空, 燈管制造
研發: 核研究, 等離子研究, 粒子加速器, 冷凍研究, 納米技術, 生物技術