多線切割技術可被用于切割脆硬材料,如硅錠等,此外也可用于分割難切削的材料。該工藝具有以下的優點:
(1)經濟效益高,一次可切割幾百個晶片
(2)可切割直徑至300mm的硅錠
(3)晶體缺陷深度小
(4)幾何缺陷少(TTV,弓曲,偏差等)
(5)適合于分割硬脆或難以切削的材料
多線切割機主要由機床、數控系統和高頻電源這三部分組成。數控系統由單片機、鍵盤、變頻檢測系統構成,具有間隙補償、直線插補、圓弧插補、斷絲自動處理等主要功能。能切割材料,如高強度、高韌性、高硬度、高脆性、磁性材料,以及精密細小和形狀復雜的零件。多線切割技術、線切割機床正在各行各業中得到廣泛的應用。http://www.fangzhi-peijian.com/