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伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 380 持續轟擊 TiN 薄膜獲得更優秀性能

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產品價格: 11/人民幣 
最后更新: 2020-09-30 09:39:03
產品產地: 美國
發貨地: 本地至全國 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
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  • 公司基本資料信息
    • 伯東企業(上海)有限公司
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    • 地址上海市浦東新區新金橋路1888號36號樓7樓702室 201206
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    產品詳細說明

    在制備 TiN 薄膜過程中, 離子持續轟擊對 TiN 薄膜的結構和性能影響很大, 在離子持續轟擊作用下能夠獲得性能優異的TiN薄膜.

     

    為了獲取性能優異的 TiN 薄膜, 國內某制造商采用伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 380 對 TiN 薄膜進行持續轟擊. 工作系統簡單示意如下圖:

    伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 380 技術參數:

    射頻離子源型號

    RFICP 380

    Discharge 陽極

    射頻 RFICP

    離子束流

    >1500 mA

    離子動能

    100-1200 V

    柵極直徑

    30 cm Φ

    離子束

    聚焦, 平行, 散射

    流量

    15-50 sccm

    通氣

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    長度

    39 cm

    直徑

    59 cm

    中和器

    LFN 2000

     

    美國 KRI 射頻離子源 RFICP 380 特性:

    1. 大面積射頻離子源

    2. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求

    3. 采用射頻技術產生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長, 更適合時間長的工藝要求

    4. 離子束流: >1500 mA

    5. 離子動能: 100-1200 V

    6. 中和器: LFN 2000

    7. 采用自動控制器, 一鍵自動匹配

    8. RF Generator 可根據工藝自行選擇離子濃度, EX: 1kW or 2kW

    9. 離子源采用模塊化設計, 方便清潔/ 保養/ 維修/ 安裝

    10. 柵極材質鉬和石墨, 堅固耐用

    11. 通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others

     

    應用結果:
    通過使用 伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 380 持續轟擊 TiN 薄膜, 備的TiN 薄膜具有更致密的結構, 更光滑的表面, 更好的結晶性, 更優異的機械性能和更好的腐蝕性能.

    其使用前(左)和使用后(右)對比圖如下:

     

    伯東是德國 Pfeiffer 真空泵檢漏儀質譜儀真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

     

     

    若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式:

    上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
    M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
    ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
    www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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