日本ALNAIR硅晶圓厚度傳感器SIT-200

天津瑞利光電科技有限公司優勢經銷日本ALNAIR硅晶圓厚度傳感器

? 品牌名稱：ALNAIR

? 規格型號：SIT-200

產品介紹

用于硅晶片的全光學非接觸式厚度傳感器

高動態范圍，能夠測量混亂的表面

能夠在濕蝕刻過程中進行原位測量

SIT-200使用高速掃頻可調激光器（而不是寬帶光源）來探測被測晶片。這樣就可以對每個波長進行更高功率的測量，從而實現高動態范圍。即使在未拋光的晶片上，例如在濕蝕刻期間/之后，也可以進行厚度測量。硅晶圓厚度傳感器由準確調諧的波長掃描激光源，聚焦傳感器和光接收器（PD）構成。波長掃描光聚焦在目標上，并且在通過傳感器后，PD會檢測到從目標表面反射回來的干涉圖樣。

產品參數

測量對象：硅片

可測厚度：10~500（n = 3.5）μm

光源：波長掃描激光源

（1515~1585）nm

光輸出功率：0.6，激光等級1 mW

引導光源：紅色LD，激光等級1M

測量時間：min.20 ms

重復性：小于0.1（3σ）μm

監控輸出：干擾信號（電氣）

PC接口：以太網

電源：AC 100-240（50/60 Hz）V

尺寸（寬x高x深）：364 x 147 x 391 mm

重量：9.0 kg

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