低溫等離子體技術(shù)是采用脈沖高壓高頻等離子體電源和齒板放電裝置，電子獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時部分分子被電離產(chǎn)生高強度、高濃度、高電能的離子、活性集團，之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱能。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質(zhì)俘獲成為負(fù)離子。這類負(fù)離子具有良好的化學(xué)活性，在化學(xué)反應(yīng)中起著重要的作用。

廢氣中的污染物質(zhì)可與這些具有較高能量的物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)，使廢氣分子電離、解離和激發(fā)，然后引發(fā)一系列復(fù)雜的氧化還原反應(yīng)，使復(fù)雜大分子污染物轉(zhuǎn)變成為簡單小分子無機物，或使有毒有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變成無毒無害或低毒低害的物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除。