探針臺(tái)
BD系列高精度探針臺(tái)顯微鏡操控規(guī)格:
● 在探針臺(tái)右側(cè)有大搖桿，提起90度后，可以使顯微鏡快速傾仰抬起，方便在測試時(shí)更換物鏡鏡頭
● 顯微鏡后側(cè)有X/Y軸調(diào)節(jié)小搖輪，可調(diào)節(jié)顯微鏡在x-y方向的移動(dòng)，移動(dòng)范圍2"X2"，精度1μm
● 顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細(xì)旋鈕，粗旋鈕方便快速調(diào)焦,細(xì)旋鈕方便精確調(diào)焦，使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm，移動(dòng)精度1μm
BD系列高精度探針臺(tái)臺(tái)面規(guī)格:
● 探針臺(tái)臺(tái)面平整度：5μm
● 探針臺(tái)左側(cè)有搖杠可以控制臺(tái)面快速上下升降6mm。在探針臺(tái)加裝探針卡點(diǎn)測wafer時(shí)方便對die的重選擇
● 探針臺(tái)右上方有轉(zhuǎn)輪搖桿，搖動(dòng)時(shí)可使臺(tái)面線性上下升降，升降范圍25mm，精度1μm。在探針臺(tái)加裝探針卡點(diǎn)測wafer時(shí)方便對die的復(fù)位
卡盤（載物臺(tái)，即圖中的chuck）規(guī)格:
● 6" 卡盤，卡盤平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，帶真空吸附孔，中心孔徑250μm-1mm（可根據(jù)客戶需求定制孔徑大小），zui小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，zui大能夠吸住尺寸為6"X6"
● 卡盤可360度旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào)，微調(diào)精度為0.1度，帶角度鎖定旋鈕
● 卡盤X，Y軸調(diào)節(jié)旋鈕可以控制卡盤做X-Y方向的移動(dòng)，移動(dòng)范圍為6"X6"，移動(dòng)精度為1μm，為方便點(diǎn)測的穩(wěn)定性，帶有鎖住功能。如果點(diǎn)測6"wafer的時(shí)候，可以保證6"wafer的每一點(diǎn)都能夠點(diǎn)測到
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