日本愛發(fā)科真空鍍膜機坩堝，鍍鍋，坩堝蓋板

深圳市天鉉真空技術有限公司日本愛發(fā)科真空鍍膜機坩堝，鍍鍋，坩堝蓋板

  型 式：1300DBI

產(chǎn)品參數(shù)：

產(chǎn)品名： 

GENER-1300DBI  

型 式：

1300DBI 

產(chǎn)品參數(shù)： 

產(chǎn)品參數(shù)： 

真空室SUS304,Ф1300×1610mm(H)

工件架Ф1200mm

工件架轉速10rpm to 30rpm(可變)

光學膜厚控制 HOM2-R-VIS400A（可選）

光學膜厚監(jiān)控儀波長范圍：400nm to 1100nm

反射式/透射式

水晶式膜厚計XTC/3+6點式水晶傳感器

蒸發(fā)源電子槍2套

離子源GL離子源

排氣系統(tǒng)機械泵

1個擴散泵

Polycold 

性能  

達到壓力5.0×10-5Pa以下

排氣時間15分

（大氣壓～1.3×10-3Pa）

基板溫度高：350℃ 

工作條件  

設備尺寸約5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)

電源3相,200v,50/60Hz,約101KVA

水流量140升/分以上

空氣壓力0.5MPa以上

重量約9000kg  

產(chǎn)品名：GENER-1300DBI