INFICON SQC-310膜厚控制儀英福康真空計(jì)

公司基本資料信息

產(chǎn)品詳細(xì)說明

INFICON SQC-310 系列提供同類膜厚控制儀深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司

高精度連續(xù)鍍膜控制或共鍍膜控制

憑借先進(jìn)的技術(shù)、完善的顯示和實(shí)惠的價(jià)格，INFICON SQC-310 系列提供同類膜厚控制儀無法企及的優(yōu)勢(shì)。可以選擇適合您應(yīng)用的理想型號(hào)：連續(xù)鍍膜 (SQC-310) 或共鍍膜 (SQC-310C)。

明亮的彩色 LCD 顯示屏 - 提供英文或中文版本
標(biāo)準(zhǔn) RS-232 和 USB（可選 RS-232 和以太網(wǎng)）
設(shè)有“Quick Setup”（快速設(shè)定）菜單、6 個(gè)區(qū)分上下文按鈕以及一個(gè)簡(jiǎn)便的參數(shù)設(shè)定旋鈕，易于設(shè)定和操作
用于開發(fā)、測(cè)試和下載過程的 Windows^® 程序，以及用于將儀器數(shù)據(jù)記錄到 PC 進(jìn)行過程分析與質(zhì)量控制的 Windows 程序
精確的過程控制，尤其適用于低沉積速率，測(cè)量速率為每秒 10 個(gè)讀數(shù)，測(cè)量分辨率為 ±0.03 Hz
存儲(chǔ)容量可達(dá) 100 個(gè)過程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料
使用單傳感器或多傳感器監(jiān)控源材料，提供精確的源分布監(jiān)控

類型	SQC-310	SQC-310C
測(cè)量
QCM 輸入	2 (4 optional)	4
測(cè)量頻率范圍	Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum	Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum
頻率分辨率 (1)	± 0.012 Hz	± 0.012 Hz
厚度和速率分辨率/測(cè)量 (2)	±0.015 ?	±0.015 ?
頻率穩(wěn)定性	± 2 ppm total, 0 to 50C	± 2 ppm total, 0 to 50C
測(cè)量周期	0.10 to 1.0 s (adjustable)	0.10 to 1.0 s (adjustable)
速率顯示	0.01 ?/sec	0.01 ?/sec
控制
存儲(chǔ)	100 processes, 1000 layers, 50 films	100 processes, 1000 layers, 50 films
控制輸出	2 (4 optional)	4
輸出信號(hào)	± 0 to 10 VDC, 15 bits	± 0 to 10 VDC, 15 bits
數(shù)字輸入/繼電器	8/8 (16/16 optional)	16/16
數(shù)字輸入	5 VDC non-isolated	5 VDC non-isolated
繼電器	SPST Form 1A, 30V, 2A max	SPST Form 1A, 30V, 2A max
接口	Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)	Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
遠(yuǎn)程電源控制	Optional (IPN 782-900-017)	Optional (IPN 782-900-017)
顯示器
類型	1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD	1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
圖表	Rate, deviation, power or full screen numeric	Rate, deviation, power or full screen numeric
一般
功率	100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W	100-240 VAC, 50/60 Hz, 25 W
合規(guī)性	CE, RoHS	CE, RoHS
Windows® 軟件	Included	Included
殼體/安裝	5 1/4” half-rack	5 1/4” half-rack

(1) 0.25 秒測(cè)量間隔的分辨率
(2) 工具/密度 = 100/1，基礎(chǔ)頻率= 6 赫茲，0.25 秒測(cè)量間隔

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