有機廢氣氣體利用排風設備輸入到UV紫外光光催化除臭設備后，凈化設備運用高能UV紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質其降解化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。

利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射惡臭氣體和TiO2光催化，催化裂解惡臭氣體如：氮、C3H9N、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。

TiO2光催化的催化化性在很大程度上影響光催光反應速率，而TiO2光催光活性主要受TiO2的晶型和粒徑的影響。銳鈦型TiO2的催化活性高。隨著粒徑的減少，電子與空穴簡單復合的概率降低，光催化活性增大。另外，孔隙率、平均孔徑、粒子表面狀態，純度等對其光催化活性也均有一定影響。為了提高光降解效率，對TiO2光催化劑進化改性，如研制納米TiO2，制備TiO2的復合半導體，金屬離子摻雜、染料光敏化等。利用高能臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需氧分子結合，進而產生臭氧。UV+O2→o一+o*（活性氧）o+O2→O3（臭氧），眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有立竿見影的清除效果。

利用高能UV光束裂解惡臭氣體中細菌分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，達到脫臭及殺滅細菌的目的。