應(yīng)用實驗:半導(dǎo)體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。
PFA花籃的性能優(yōu)勢:
1.耐強酸、強堿和各種有機溶劑
2.金屬元素空白值低
3.無溶出和析出
4.耐候性佳、不易應(yīng)力變形
5.耐磨、抗靜電性
6.有優(yōu)良的化學(xué)
穩(wěn)定性
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