羅茨螺桿真空機組是由羅茨泵與螺桿泵串聯而成,同時配有管路、閥門、機架及電器控制箱等,當前級螺桿泵工作后,由真空規頭及真空繼電器來控制羅茨泵起動。由于羅茨泵與螺桿泵轉動部件都是不接觸零件,因此機組具備運轉平穩,噪音低、振動小、結構緊湊、占地面積小等優點。本系列真空機組為干式真空機組,沒有污水和廢油排行。
因節能效果明顯,對環境友好。高真空區抽氣效率高,真空度高,是電工,電子鍍膜、冶煉、熱處理、干燥、蒸餾、制藥、化工、航天等行業理想的抽氣設備,特別適用于要求無油蒸汽污染的半導體行業,同時也適用于含有大量水蒸汽及少量粉塵的場合。
1.一級、二級或三級羅茨真空泵
2.前級液環真空泵
3.真空壓力開關
4.止回閥
5.防反流破真空閥
6.進液電磁閥
7.氣液分離罐
8.閉式循環系統(液位計、補液電磁閥、冷卻器、溫度表)
9.PLC電氣控制柜