光柵尺，也稱為光柵尺位移傳感器（光柵尺傳感器），是利用光柵的光學原理工作的測量反饋裝置。光柵尺經常應用于數控機床的閉環伺服系統中，可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數字脈沖，具有檢測范圍大，檢測精度高，響應速度快的特點。例如，在數控機床中常用于和工件的坐標進行檢測，來觀察和跟蹤走刀誤差，以起到一個補償的運動誤差的作用HEIDENHAIN光柵526974-11下馬威

BIRKENBEUL備件NR：1083940
STAHL備件8570/15-306
G. ELBE+SOHN GMBH法蘭1.112.240 / 120/42X72，3
MTS位移傳感器RHM0510MR051A01
krautloher氣缸702400104
SCHUNK備件0302362
VDO伺服電機M43X50/I
VIPA備件VIPA 221-1BF00
UNIMEASURE傳感器LX-PA-15
WAMPFLER備件081116-4x12
SEYBERT+RAHIER備件622.10 NR:WA40641
STEMMER備件SKR FIL BP655/25.5
DOGA雨刮電機113.9037.3B.00 24V 60°
ELAFLEX備件ERV-R 150.16 ZS
BORRIES備件22310094
RECHNER接近開關KAS-80-30-?-K-M32-PTFE(KA0004)
AVTRON編碼器HS40S332WE1UDZA
KUEBLER絕對值編碼器8.5852.1233.G121
HYDROWER吸油閥AB 16 S-63-HE
AQUAFLEX磁感應開關0914 /RMS1209HR12-02
HYDAC壓力傳感器HDA3844-A-400-000
PARKER備件4F4M-C4L-5-SS
RITZ電壓互感器GDS 20 SIZE 1400//1/1A
HAWE接頭QV20H8
TER配件PF45120007的配件19
HYDAC濾芯0951 R 005 BN4HC/KB
COAX冷卻液閥MK15DRNC 530735
COMAT備件KD215/DC12-24V PNP 2.5/2*1.5A
KERB KONUS電器件NR.302000050
VESTA氣動換向閥E32W1S6M2 氣動換向閥
KTR減震條DSM250M
TYCO火焰探頭S241F+
EUCHNER開關N01R550-M
SOMMER備件DSV1/8
MTS接頭560885
VALEO手柄203.479
HEIDENHAIN濾芯337147-01
G.BEE閥842-1/2" IG/IG PN64
LORENZ備件115413
HARTING備件9990000001
PNEUMAX氣缸1514.40.10
STAHL信號限位開關8074/1-1-RS
BURKERT底板配套電磁閥501208使用的底板，可裝5個閥
SCHRACK帶燈續流二極管EM18
BAUMER光電開關OHDK 14P5101/S14
VOGEL泵ZP1002-S12
BAUER電動機BS02-38H/DU04LA4-S/E003B7/SP 188F4118
SKF便攜式數據采集分析儀CMXA 75-F-K-SL
Erem備件500103A
BEKA數顯表BA328E
MTS位移傳感器RHM0150MD701S1G2100
FESTO二位五通電磁閥MFH-5-1/4-B-EX
KTR電器件IRN400.U2.A01.3x02.T1.200
HAVE備件BWH1A-1/250-M5M5-1-1-G24
ETA電源開關ESX10-TB-101-DC24V-2A
SCHMITT備件Art.-Nr. Hersteller: SB-1420
TR編碼器LP38 307-00690
HEIDENHAIN編碼器線纜轉換接頭349312-03
CELDUC繼電器WF151200

光柵尺線位移傳感器的安裝比較靈活，可安裝在機床的不同部位。

一般將主尺安裝在機床的工作臺（滑板）上，隨機床走刀而動，讀數頭固定在床身上，盡可能使讀數頭安裝在主尺的下方。其安裝方式的選擇必須注意切屑、切削液及油液的濺落方向。如果由于安裝位置限制必須采用讀數頭朝上的方式安裝時，則必須增加輔助密封裝置。另外，一般情況下，讀數頭應盡量安裝在相對機床靜止部件上，此時輸出導線不移動易固定，而尺身則應安裝在相對機床運動的部件上（如滑板）。

1、光柵尺線位移傳感器安裝基面

安裝光柵尺傳感器時，不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機床身上，更不能安裝在打底涂漆的機床身上。光柵主尺及讀數頭分別安裝在機床相對運動的兩個部件上。用千分表檢查機床工作臺的主尺安裝面與導軌運動的方向平行度。千分表固定在床身上，移動工作臺，要求達到平行度為0.1mm/1000mm以內。如果不能達到這個要求，則需設計加工一件光柵尺基座。

基座要求做到：(1)應加一根與光柵尺尺身長度相等的基座（基座長出光柵尺50mm左右）。(2)該基座通過銑、磨工序加工，保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內。另外，還需加工一件與尺身基座等高的讀數頭基座。讀數頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm。安裝時，調整讀數頭位置，達到讀數頭與光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右，讀數頭與光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右。

2、光柵尺線位移傳感器主尺安裝

將光柵主尺用M4螺釘上在機床安裝的工作臺安裝面上，但不要上緊，把千分表固定在床身上，移動工作臺（主尺與工作臺同時移動）。用千分表測量主尺平面與機床導軌運動方向的平行度，調整主尺M4螺釘位置，使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內時，把M2螺釘徹底上緊。

在安裝光柵主尺時，應注意如下三點：

(1) 在裝主尺時，如安裝超過1.5M以上的光柵時，不能象橋梁式只安裝兩端頭，尚需在整個主尺尺身中有支撐。(2)在有基座情況下安裝好后，一個卡子卡住尺身中點（或幾點）。(3)不能安裝卡子時，玻璃膠粘住光柵尺身，使基尺與主尺固定好。

3、光柵尺線位移傳感器讀數頭的安裝

在安裝讀數頭時，首先應保證讀數頭的基面達到安裝要求，然后再安裝讀數頭，其安裝方法與主尺相似。最后調整讀數頭，使讀數頭與光柵主尺平行度保證在0.1mm之內，其讀數頭與主尺的間隙控制在1~1.5mm以內。

4、光柵尺線位移傳感器限位裝置

光柵線位移傳感器全部安裝完以后，一定要在機床導軌上安裝限位裝置，以免機床加工產品移動時讀數頭沖撞到主尺兩端，從而損壞光柵尺。另外，用戶在選購光柵線位移傳感器時，應盡量選用超出機床加工尺寸100mm左右的光柵尺，以留有余量。

5、光柵尺線位移傳感器檢查

光柵線位移傳感器安裝完畢后，可接通數顯表，移動工作臺，觀察數顯表計數是否正常。

在機床上選取一個參考位置，來回移動工作點至該選取的位置。數顯表讀數應相同（或回零）。另外也可使用千分表（或百分表），使千分表與數顯表同時調至零（或記憶起始數據），往返多次后回到初始位置，觀察數顯表與千分表的數據是否一致。

通過以上工作，光柵尺線位移傳感器的安裝就完成了。但對于一般的機床加工環境來講，鐵屑、切削液及油污較多。因此，傳感器應附帶加裝護罩，護罩的設計是按照傳感器的外形截面放大留一定的空間尺寸確定，護罩通常采用橡皮密封，使其具備一定的防水防油能力。

使用注意事項

編輯

（1）光柵尺傳感器與數顯表插頭座插拔時應關閉電源后進行。

（2）盡可能外加保護罩，并及時清理濺落在尺上的切屑和油液，嚴格防止任何異物進入光柵尺傳感器殼體內部。

（3）定期檢查各安裝聯接螺釘是否松動。

（4）為延長防塵密封條的壽命，可在密封條上均勻涂上一薄層硅油，注意勿濺落在玻璃光柵刻劃面上。

（5） 為保證光柵尺傳感器使用的可靠性，可每隔一定時間用乙醇混合液（各50%）清洗擦拭光柵尺面及指示光柵面，保持玻璃光柵尺面清潔。HEIDENHAIN光柵526974-11下馬威

（6） 光柵尺傳感器嚴禁劇烈震動及摔打，以免破壞光柵尺，如光柵尺斷裂，光柵尺傳感器即失效了。

（7） 不要自行拆開光柵尺傳感器，更不能任意改動主柵尺與副柵尺的相對間距，否則一方面可能破壞光柵尺傳感器的精度；另一方面還可能造成主柵尺與副柵尺的相對摩擦，損壞鉻層也就損壞了柵線，以而造成光柵尺報廢。

（8） 應注意防止油污及水污染光柵尺面，以免破壞光柵尺線條紋分布，引起測量誤差。

（9） 光柵尺傳感器應盡量避免在有嚴重腐蝕作用的環境中工作，以免腐蝕光柵鉻層及光柵尺表面，破壞光柵尺質量。