AMW-08 AT半自動晶圓預(yù)切割膜貼膜機(jī)AMSEMI
——支持各種膜類,包括預(yù)切割膜、非預(yù)切割膜、DAF膜等。
AMW-08 AT半自動晶圓預(yù)切割膜貼膜機(jī)特點(diǎn):
·自動滾軸貼膜技術(shù);
·手動放置和取出晶圓/承載環(huán);
·自動膠膜進(jìn)給和貼膜;
·支持各種膜類,包括預(yù)切割膜、非預(yù)切割膜、DAF膜、特種膜類;
·自動圓形切刀用于非預(yù)切割膜的切割;
·自動收卷襯紙,適用于UV膜和非UV膜;
·晶圓臺盤溫度可編程控制,最高可達(dá)120℃;
·標(biāo)準(zhǔn)8”晶圓臺盤用于8”晶圓,可配置金屬臺盤或高密度陶瓷臺盤;
·PLC控制,帶5.7”觸摸屏;
·配置光簾保護(hù)功能,和緊急停機(jī)按鈕;
·三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態(tài)監(jiān)控;
AMSEMI AMW-08 AT半自動晶圓預(yù)切割膜貼膜機(jī)規(guī)格參數(shù):
貼膜原理 自動滾軸貼膜技術(shù);
晶圓直徑 8”&12”;
晶圓厚度 50~750微米;
晶圓種類 正常的V型缺口晶圓;
膜種類 預(yù)切割膜、DAF膜、非預(yù)切割膜、或者UV膜;
寬度:290毫米預(yù)切割膜/DAF膜;
320毫米UV/非UV膜;
長度:100米;
厚度:0.05~0.2毫米;
晶圓承載環(huán) 8”DISCO 或者K&S標(biāo)準(zhǔn);
貼膜定位精度 ±1mm;
裝卸方式 手動晶圓/承載環(huán)放置與取出;
防靜電控制 去離子風(fēng)扇;
臺盤溫度 室溫~ 120℃,可編程控制;
切割系統(tǒng) 環(huán)型切刀用于8”DISCO承載環(huán);
控制單元 基于PLC 控制,帶5.7”觸摸屏;
安全防護(hù) 配置光簾保護(hù)和緊急停機(jī)按鈕;
電源電壓 單相交流電220V,16A;
壓縮空氣 60 PSI清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘2.5立方英尺;
機(jī)器結(jié)構(gòu) 全鋁型材制造,堅固耐用;
機(jī)器外殼 白色噴塑金屬外殼;
體積 800毫米(寬)*1450毫米(深)*1980毫米(高);
凈重 350公斤;
AMW-08 AT半自動晶圓預(yù)切割膜貼膜機(jī)性能:
晶圓收益 ≥99.9%;
貼膜質(zhì)量 沒有氣泡(不包括灰塵顆粒氣泡);
每小時產(chǎn)能 ≥80片晶圓;
MTBF >500小時;
MTTR <1小時;
停機(jī)時間 <3%;
AMSEMI矽旺半導(dǎo)體名稱及型號:
半自動晶圓貼膜機(jī)(減薄前) ATW-08/ATW-12
半自動晶圓撕膜機(jī)(減薄后) ADW-08 plus/ADW-08
半自動貼膜機(jī) (基板切割) AMS-12
半自動晶圓貼膜機(jī)(預(yù)切割膜) AMW-08 AT
半自動晶圓貼膜機(jī)(切割膜) AMW-08/AMW-12
衡鵬供應(yīng)