氣體傳感器闡述
半導(dǎo)體氣體傳感器可分為電阻型和非電阻型結(jié)型、MOSFET型、電容型。電阻型氣敏器件是氣體分子引起敏感材料電阻變；非電阻型氣敏器件有Ms二極管和結(jié)型二極管以場(chǎng)效應(yīng)管MSFET，它利用敏感氣體會(huì)改變MOSFET開(kāi)啟電壓，其與ISFET離子敏傳感器件相同。
氣體傳感器規(guī)格
溫度對(duì)傳感器靈敏度有影響。下左為SnO2氣敏器件對(duì)氣體溫度電阻特性曲線(xiàn)。由可見(jiàn)，器件在不同溫度下對(duì)氣體靈敏度不同，利用這一特性識(shí)別氣體。
制備工藝對(duì)SnO2氣敏特性也有很大影響。如在SnO2中添加ThO2，改變燒結(jié)溫度和加熱溫度就產(chǎn)生不同氣敏效應(yīng)。
氣體傳感器種類(lèi)
SnO2電阻型氣敏器件通常采用燒結(jié)工藝。以多孔SnO2為基底材料，再添加不同其他物質(zhì)，用制陶工藝燒結(jié)而成，燒結(jié)時(shí)埋入加熱和測(cè)量電極。此外，也蒸發(fā)和濺射等工藝制成薄膜器件和多層膜器件，這類(lèi)器件靈敏度高，動(dòng)態(tài)特性。
