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在真空熱處理設(shè)備上用順控器或微機(jī)的程序控制作業(yè)也有許多成功的經(jīng)驗。工藝參數(shù)的嚴(yán)格控制對熱處理工藝參數(shù),如時間、溫度、爐氣戒分和壓力、淬火介質(zhì)的濃度、雜質(zhì)和冷速(攪動程度)的嚴(yán)格控制可使工件保持穩(wěn)定的高質(zhì)量,使工件的表面質(zhì)量、表面和心部硬度、滲層的滲入元素濃度和梯度、滲層深度都能得到有效的控制。在我國,由于可控硅控溫和PID儀表的普及,一般熱處理電阻爐(8~1℃)的控溫精度可達(dá)到±5℃,甚至±2℃。