P-620.2 – P-629.2 PI HeraXY向壓電工作臺(tái)

P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向壓電工作臺(tái)

P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向壓電工作臺(tái)，P-620.2 – P-629.2 PI HeraXY向壓電工作臺(tái)

§ 行程為501800微米

§ 分辨率達(dá)0.1納米

§ 定位精度 0.02 %

§ 帶電容式傳感器的直接計(jì)量

§ X、XY、Z和XYZ型

應(yīng)用領(lǐng)域

§ 干涉測(cè)量

§ 顯微鏡

§ 納米定位

§ 生物技術(shù)

§ 測(cè)試程序和質(zhì)量保證

§ 光子

§ 光纖定位

§ 半導(dǎo)體技術(shù)

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng) 的聚合物絕緣促動(dòng)器長(zhǎng)達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無(wú)故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。

帶電容式傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來(lái)高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無(wú)需維護(hù)、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。 它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

直接位置測(cè)量帶來(lái)精度

運(yùn)動(dòng)直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測(cè)量，完全不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟挠绊憽＿@樣可以實(shí)現(xiàn)的重復(fù)精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性 、快速響應(yīng)控制。

訂購(gòu)信息

帶Sub-D連接器（公頭）的版本

P-620.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，50微米 × 50微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-621.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-622.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，250微米 × 250微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-625.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，500微米 × 500微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-628.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，800微米 × 800微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-629.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，1500微米 × 1500微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器

帶LEMO連接器的版本

P-620.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，50微米 × 50微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，LEMO連接器

P-621.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，LEMO連接器

P-622.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，250微米 × 250微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，LEMO連接器

P-625.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，500微米 × 500微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，LEMO連接器

P-628.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，800微米 × 800微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，LEMO連接器

P-629.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，1500微米 × 1500微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，LEMO連接器

不帶位置傳感器的線性定位器

P-620.20L 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，60微米 × 60微米，不帶傳感器，LEMO連接器 P-621.20L 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，120微米 × 120微米，不帶傳感器，LEMO連接器

P-622.20L 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，300微米 × 300微米，不帶傳感器，LEMO連接器

P-625.20L 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，600微米 × 600微米，不帶傳感器，LEMO連接器

P-628.20L 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，1000微米 × 1000微米，不帶傳感器，LEMO連接器 17.05.2018

P-629.20L 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，1800微米 × 1800微米，不帶傳感器，LEMO連接器 線性定位器，真空兼容達(dá)10-9百帕

P-620.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，50微米 × 50微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容10-9百帕

P-621.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容10-9百帕

P-622.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，250微米 × 250微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容10-9百帕

P-625.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，500微米 × 500微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容10-9百帕

P-628.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，800微米 × 800微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容10-9百帕

P-629.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，1500微米 × 1500微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容10-9百帕

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