上海伯東inTEST便攜式冰水機在半導體刻蝕上的應用

隨著科技的不斷發展，現代超精密制造、加工、測量儀器對工作環境提出了苛刻要求，尤其是以半導體刻蝕為代表的超大規模集成電路制造設備，其高集成度導致常規散熱方法遠遠不能滿足要求，同時刻蝕質量、運動部件的定位精度以及測量裝置的測量精度等都對環境參數的變化特別是溫度的變化尤為敏感。

半導體晶圓在電器組件中起到至關重要的作用，而半導體晶圓在生產制造過程中為了保證半導體晶圓的質量需要對半導體晶圓快速降溫，但是由于降溫裝置直接將溫度降到下限值往往容易造成半導體晶圓皸裂。

因此，環境參數尤其是溫度的控制成為一項關鍵問題，而冰水機的出現正好解決了這一難題。

上海伯東inTEST便攜式冰水機在半導體刻蝕上的應用

美國inTEST為了滿足市場的需求，推出了可為汽車/能源/化學加工/工業和半導體等行業的超低溫風冰和水冰式冰水機的新系列。

每個過程冰卻器類型的三種型號-W-80水冰和A-80風冰系列-為實現24/7溫度控制期間的可靠性而設計。

便攜式冰水機在精確的溫度下循環傳熱流體，每種型號都提供各種冰卻能力以支持特定的應用，在-80°C時高達2.5kW。

便攜式冰水機的溫度范圍在-80℃~50℃，其溫度控制溫度性高達±0.5℃，可以精確掌控半導體刻蝕工藝過程中溫度，保證半導體刻蝕工藝中對溫度的變化尤為敏感的測量精度的準確性，保證半導體晶圓快速降溫的同時不會由于降溫裝置直接將溫度降到下限值而造成半導體晶圓皸裂的問題。

上海伯東inTEST便攜式冰水機的優勢：

1.    冰水機組配備了車載診斷程序，可幫助預測冰水機組的運行狀況并避免意外停機

2.    通過選擇水冰凝器或風冰冰凝器，該系統可輕松集成到生產設備中

3.    直觀的觸摸屏接口允許設置熱曲線，查看數據和趨勢以及記錄診斷信息

4.    通信接口包括（以太網，RS232，USB）用于遠程冰卻器控制。

除了用于半導體刻蝕工藝外，上海伯東美國 inTEST Thermonics 超低溫流體冰水機還搭配 MCT IC 自動測試分選機 SH-5000 成功應用于有鉛測試引線半導體封裝和無鉛測試引線半導體封裝的測試市場.

上海伯東是美國 Thermonics 超低溫冰水機中國總代理.

美國 inTEST 旗下 Thermonics® 提供 -80°C 低溫冰水機和 -120°C 超低溫冰水機用于冰卻工藝過程中的氣體和液體. 型號包含低溫液體冰水機, 超低溫氣體冰水機和超低溫液氮, 液態二氧化碳制冰機. Thermonics 低溫冰水機可選水冰或氣冰, 并與各種導熱液體相容. 滿足各種超低溫工藝冰卻需求, 廣泛應用于化學, 能源, 半導體, 汽車等領域.