對象基板

 尺寸

L100 × W50 ～ L560 × W460mm

 貼裝后的元件高度

上面40mm、下面80mm (生產線上使用時為40mm)

 翹曲度

2.0 mm 以下

 重量

2.0kg 以下

X射線檢查

TypeHD

TypeHB

 X射探測器

FOS平板式

直接轉換式

高速型

耐用型

 分辨率

7～54μm

18～54μm

 視野

62 × 78mm

52 × 45mm

 檢查速度 2D-X

93.7?/sec

24.0?/sec

 檢查速度 3D-X

15.5?/sec

4.0?/sec

 方式

采用X射線CT進行三維斷層檢查

 X射線源

微焦點密封管

 管電壓

 130KV

 檢查區域

3D： L510 × W460 mm、2D： L560 × W460 mm

 (基板中央部)

光學檢查

 檢查速度

0.4 秒 / 視野

 分辨率

10μm / 19μm

 照明

3層圓頂照明、上層R?G?B?紅外線、中層R?G?B、下層R?G?B

 攝像系統

數碼彩色相機、遠心鏡頭

 檢查區域

L560 × W460 mm

激光檢查

 分辨率 / 方式

5μm (高度方向) / 采用通過激光光束進行三角法測量的測距傳感器

 檢查區域

L510 × W360 mm

 (基板中央部)

X射線泄漏量

0.2 μSv/h 以下

電源規格 /

三相 AC 200/208/220/240/380/400/416V ±10% 50/60 Hz / 0.4MPa以上

外形尺寸 / 重量

L1,710 × D1,883 × H1,705mm（突起部除外）/ 約 2,900kg