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SnO2薄膜氣敏元件具有良好的穩定性、能在低溫下工作、檢測氣體種類多、工藝成熟等優點,是目前的主流產品。 另外,Fe2O3也是目前廣泛應用研究的材料。 除傳統的SnO、SnO2和Fe2O3三種材料外,目前還在研究開發包括單一金屬氧物材料、復合金屬氧物材料、混合金屬氧物材料在內的新材料。這些新型材料的研究和開發,大大提高了氣體傳感器的特性和應用范圍。
非電阻型也是比較常見的半導體氣敏設備,這種設備易于使用,無需設置工作溫度,易于集成,得到廣泛應用。 主要有結型和MOSFET型兩種。 結型氣體傳感器裝置也稱為氣體傳感器二極管,這種氣體傳感器裝置利用氣體改變二極管的整流特性而工作。 其結構如下圖左圖所示。 Pd對氫有選擇性,與半導體接觸成接觸勢壘。當二極管加正向偏壓時,從半導體流向金屬的電子將增加,因此正向是導通的。
固體電解質是一種具有與電解液水溶液相同離子電導率的固體物質,作為氣體傳感器,它不需要通過電解液中的氣膜溶解氣體,以避免溶液蒸發和電極消耗等問題,因其具有較高的電導率、靈敏度和選擇性,被廣泛應用于石油工、環境保護、采礦、食品等領域。體氣體傳感器。