根據(jù)硅烷尾氣與空氣接觸而自燃的特點(diǎn)，生產(chǎn)工藝中產(chǎn)生的硅烷尾氣由管道進(jìn)入YZR 型不銹鋼硅烷燃燒筒進(jìn)行燃燒處理，經(jīng)過燃燒筒處理的尾氣再由管道進(jìn)入YZR 型不銹鋼硅烷燃燒塔進(jìn)行二次燃燒處理，燃燒處理后的氣體進(jìn)入燃燒塔的噴淋室進(jìn)行一次噴淋處理再穿過填料層進(jìn)入第二次噴霧處理，使尾氣與中和循環(huán)液進(jìn)行充分的逆向接觸反應(yīng)，然后通過脫液處理后由抽風(fēng)機(jī)排出。
