低溫等離子體處理廢氣的原理為:當外加電壓達到氣體的放電電壓時,氣體被擊穿,產生包括電子、各種離子、原子和**基在內的混合體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、**基等活性粒子和廢氣中的污染物作用,使污染物分子在極短的時間。
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