Edwards愛德華 EH500 羅茨真空泵

    Edwards從1939年開始制造真空設(shè)備到現(xiàn)在，在光伏和led行業(yè)應(yīng)用廣泛，也是半導(dǎo)體、平板顯示器、太陽能電池、電力、玻璃和其他涂層應(yīng)用、鋼和其他冶金、制藥和化學(xué)制造過程中不可缺少的一部分，Edwards 是領(lǐng)先的開發(fā)商和生產(chǎn)商，提供精密的真空泵系統(tǒng)產(chǎn)品、減排解決方案和相關(guān)的增值服務(wù)。

     EH機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。