純度是氮氣的一個重要技術參數，按國標氮氣的純度分為工業用氮氣、純氮和高純氮三級，它們的純度分別為99．5％（O2≤0．5％），99．99％（O2≤0．01％）和99．999％（O2≤0．001％）。
純氮N2 ≥99.99 化工、治金、電子工業 高純氮N2 ≥99.999 科研、電子、機械行業、色譜儀載氣 
所以用于制冷劑的話，沒什么區別，高純氮主要適用于精密儀器
純度≥99．999％的高純氮外（進口價格很高），國內外同行目前一般用PSA制氮技術只能制取氮氣純度為99．9％的普氮（即O2≤0．1％），個別企業可制取99．99％的純氮（O2≤0．01％），純度更高從PSA制氮技術上是可能的，但制作成本太高，用戶也很難接受，所以用非低溫制氮技術制取高純氮還必須加后級純化裝置。