X-Mill 精密研磨系統

X-Mill是Allied的新型自動精密研磨拋光系統，應用于微電子行業。在制樣領域的應用：背面/正面失效分析，逆向工程、材料工程等。設置向導（在屏幕幫助菜單）設定：X-Y-Z啟動/停止，X-Y研磨率，Z-力，Z-增量，銑削模式和工具疊加等。

特點：

l          閉環Z軸力控制（gF）。

l          閉環Z軸定位精度，0.1微米。

l          Z軸力控制自動監測X-Y研磨率。

l          閉環X-Y軸，伺服電機控制移動，1微米分辨率。

l          按照向導操作，不需要G-coding和編程知識。

l          自動化自調整升降臺。

l          每個樣品和設備命名，存儲和調用存儲程序。

l          12寸彩色液晶觸摸屏，圖形用戶界面。

l          提供各類標準夾具，以及定制內部夾具，我們應用實驗室不斷發展拋光工藝。樣品夾單獨出售。

l          在美國設計制造。

機動水平位移臺

水平位移臺自動調節，是樣品頂層表面與研磨面平行?？捎脕硇Ｕ捎诘鬃南炞兓a生的傾斜，或感應區的樣品（例如，模具在封裝中）與模具上表面不平行。

各種耗材和安裝/校準工具

水平位移臺自動調節，是樣品頂層表面與研磨面平行。用來校正樣品由于底座上的蠟變化產生的傾斜，或當感應區的目標(例如，模具在封裝中)與模具上表面不平行時