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離子減薄儀是電子顯微鏡的配套儀器,主要用于制備透射薄膜樣品。離子減薄儀在材料科學和骨骼學中有著廣泛的應用。用離子減薄儀所制備的樣品質量均勻而且無任何污染。該儀器可以制備各種固體材料的樣品,如:金屬、半導體、陶瓷、礦物及骨骼等。
離子減薄技術指標:
1、真空度過 5×10-3Pa(不送氣)
2、加速電壓 0-10KV連續可調
3、最大束流密度 大于200微安/厘米
4、減薄速度(銅) 30μ/h(最大)
5、采用“薄軸承”試樣臺,在減薄過程中對離子束無遮擋
6、離子不對樣品的最小傾角
7°(普通試樣臺)
2°(拋光試樣臺)
7、采用特殊照明系統,觀察簡便,無須加裝光學系統
8、照明系統和觀察系統有防污染裝置
9、真空系統裝有防誤操作裝置