|
|
FL
離子減薄儀是電子顯微鏡的配套儀器,主要用于制備透射薄膜樣品。離子減薄儀在材料科學(xué)和骨骼學(xué)中有著廣泛的應(yīng)用。用離子減薄儀所制備的樣品質(zhì)量均勻而且無任何污染。該儀器可以制備各種固體材料的樣品,如:金屬、半導(dǎo)體、陶瓷、礦物及骨骼等。
離子減薄技術(shù)指標(biāo):
1、真空度過 5×10-3Pa(不送氣)
2、加速電壓 0-10KV連續(xù)可調(diào)
3、最大束流密度 大于200微安/厘米
4、減薄速度(銅) 30μ/h(最大)
5、采用“薄軸承”試樣臺,在減薄過程中對離子束無遮擋
6、離子不對樣品的最小傾角
7°(普通試樣臺)
2°(拋光試樣臺)
7、采用特殊照明系統(tǒng),觀察簡便,無須加裝光學(xué)系統(tǒng)
8、照明系統(tǒng)和觀察系統(tǒng)有防污染裝置
9、真空系統(tǒng)裝有防誤操作裝置