數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置，它可以測量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的電阻率，擴(kuò)散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻）。換上四端子測試夾具，還可對電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測量。
數(shù)字式四探針測試儀贈設(shè)測試結(jié)果分類功能，最大分類10類 數(shù)字式四探針測試儀所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入；具有零位、滿度自校功能；自動轉(zhuǎn)換量程；測試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成，故定位準(zhǔn)確、游移率小、壽命長；測試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。
數(shù)字式四探針測試儀基本技術(shù)參數(shù)：
1. 測量范圍、分辨率電阻：1.0×10-3 ～ 200.0×103 Ω, 分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×103 Ω電 阻 率： 10.0×10-3 ～ 20.0×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×103 Ω-cm方塊電阻： 10.0×10-3 ～ 20.0×103 Ω/□ 分辨率1.0×10-3 ～ 0.1×103 Ω/□
2. 可測半導(dǎo)體材料尺寸直 徑： 測試臺直接測試方式 Φ15～130mm，其他方式不限.長（或高）度： 測試臺直接測試方式 H≤160mm, 其他方式不限.
3. 量程劃分及誤差等級量程 200.0 20.00 2.000 200.0 20.00 2.000 200.0
kΩ-cm/□ Ω-cm/□ mΩ-cm/□
誤差 ±0.5%FSB±1LSB（在各量程范圍內(nèi)），超量程或欠量程可測量，但誤差將隨超欠程度而變大
4. 工作電源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W5) 外形尺寸：W×H×L=20cm×7.5cm×18cm凈 重：≤1kg .
