四探針粉末電導(dǎo)率測試儀 ST2253型

ST2253 型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置，它可以測量半導(dǎo)體材料的電阻率，測量擴(kuò)散層的薄層電阻（亦稱方阻）。換上特制的四探針測試夾具，還可以對金屬導(dǎo)體的低、中值電阻進(jìn)行測量。　　儀器由主機(jī)、測試探頭（可選配測試臺）等部分組成，測試結(jié)果由主機(jī)數(shù)碼管直接顯示。也可連接PC機(jī)由配套軟件在PC機(jī)上操作，其數(shù)據(jù)可由軟件顯示、分析、保存和打印！　　主機(jī)主要由精密恒流源，高分辨率 ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成，自動轉(zhuǎn)換量程。測試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成，故定位準(zhǔn)確、游移率小、壽命長。儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、測量簡便、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點(diǎn)。　　儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能的測試。特別適用于要求快速測量中低電阻率的場合。

基本技術(shù)參數(shù)
2.1測量范圍電　阻率：10-4～105Ω-cm 方塊電阻:10-3～106Ω/□電　　阻：10-4～105Ω
2.2可測半導(dǎo)體材料尺寸直  徑：Φ15～100mm, 長（或高）度：  ≤400mm
2.3測量方位:軸向、徑向均可
2.4. 4 1/2 位數(shù)字電壓表：⑴量程： 200mV⑵誤差：±0.1%讀數(shù)±2 字2.5數(shù)控恒流源⑴電流輸出：直流電流 0～100mA 連續(xù)可調(diào)，由交流電源供電。⑵量程：1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA⑶誤差：±0.5%讀數(shù)±2 字
2.6四探針測試探頭   ⑴探針間距 1mm(2)探針壓力: 0～2kg 可調(diào),最大壓力約 2kg(3)探針：碳化鎢，Φ0.5mm
2.7.電源輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<20W
2.8.外形尺寸：主機(jī)  260mm（長）×210 mm（寬）×125mm（高）