現代激光干涉技術是在人類關于光學的幾乎全部知識的基礎上發(fā)展起來的。激光與普通光源相比，具有一些獨特的性質：單色性好、相干性好、方向性強、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量，廣泛應用于各領域，已經成為人類認知世界的重要工具。

1604年開普勒（J．Kepler）寫出光學著作，指出光的強度和到達光源距離的平方成反比。并于1611年出版《折射光學》。

1801年托馬斯?楊（Thomas Young）用雙狹縫實驗演示了光的干涉現象，即著名的楊氏雙縫實驗。

1881年邁克爾遜（Albert．A．Michelson）設計了著名的實驗來測量“以太”漂移。當然沒測到漂移，由此導致“以太”說的破滅和相對論的誕生。它用于干涉儀，以鎘紅譜線與國際米原器作對比。正是由于他的工作導致后來用光的波長定義“米”。由于他在精密光學儀器、光譜和計量領域的研究工作于1907年獲得諾貝爾獎。

1960年Maiman研制成功第一臺紅寶石激光器，從此開始了光學技術飛速發(fā)展的新時代。從此，激光干涉測量被廣泛地用于長度、角度、微觀形貌、轉速、光譜等領域，并和微電子技術、計算機技術集成，成為現代干涉儀。

1982年G．Binning和H．Rohrer研制成功掃描隧道顯微鏡，1986年發(fā)明原子力顯微鏡，1986年獲得諾貝爾獎。從此開始了干涉儀向納米、亞納米分辨率和精度前進的新時代。

由于激光具有好的時間相干性，自問世以來，已研制出多種激光干涉儀：單頻激光干涉儀、雙頻激光干涉儀、半導體激光干涉儀、法布里-珀羅（F-P）干涉儀、X射線干涉儀等。

激光干涉儀是激光在計量領域中成功的應用之一。利用光的干涉實現測量，具有非接觸、無損檢測的特點，已經在各個不同領域得到廣泛的應用。

中圖儀器近期推出的 SJ6000激光干涉儀 采用進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、雙縱模熱穩(wěn)頻技術、多參數環(huán)境補償技術、高速數字信號處理系統(tǒng)等技術，通過與不同的光學組件結合，實現對線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測。線性測長精度：±0.5ppm，激光穩(wěn)頻精度：0.05ppm。