二、主要技術指標： 
1、曝光面積：ф100mm； 
2、分辨力：　 1.7µm（膠厚2 µm的正膠）； 
3、對準精度：  ±1µm；　　 
4、掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm； 
5、掩模尺寸：2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch； 
6、樣片尺寸：直徑ф15mm-- ф100mm、 
　　　　　   厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)； 
7、照明均勻性：±6%（ф100mm 范圍）； 
8、掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm;　 Y: ±5mm;　θ: ±6°； 
9、汞燈功率：200W（直流）；
10、曝光波長：365nml      
11、曝光能量密度：6mW/cm (420nm以上波長小于0.2mW/cm )l     
12、曝光方式：定時（到計時方式）
13、外形尺寸：650mm（長）´600mm(寬)´900mm（高）