曝光機

產(chǎn)品價格：	150000/人民幣
最后更新：	2013-03-31 19:54:43
產(chǎn)品產(chǎn)地：	本地
發(fā)貨地：	上海 (發(fā)貨期：當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量：	不限
有效期：	長期有效
最少起訂：	1
瀏覽次數(shù)：	216

公司基本資料信息

上海鑫有研電子科技有限公司
陳經(jīng)理先生市場部經(jīng)理
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產(chǎn)品詳細(xì)說明

URE-2000系列光刻機

型號：17

一. 技術(shù)特征

1、采用多反射鏡實現(xiàn)均勻照明；
2、采用球氣浮找平，調(diào)平精度高；
3、高倍率雙目雙視場顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準(zhǔn)過程，

并提供USB輸出；既滿足高精度對準(zhǔn)，又可用于檢測曝光結(jié)果，且曝光

結(jié)果和方便存儲；
4、曝光波長采用純凈365nm,冷光照明（曝光面能量5mW/cm ，溫度小于35度）
5、手動上下版、樣片，手動調(diào)平；手動分離間隙。
6、快門可以單獨開啟，也可以數(shù)字設(shè)定自動倒計時曝光（設(shè)定范圍0.1s-9999s）
7、采用200W進(jìn)口（德國）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度；設(shè)備外形美觀精制

性能非常可靠

二、主要技術(shù)指標(biāo)：
1、曝光面積：ф100mm；
2、分辨力：　 1.7µm（膠厚2 µm的正膠）；
3、對準(zhǔn)精度：  ±1µm；　　
4、掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm；
5、掩模尺寸：2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch；
6、樣片尺寸：直徑ф15mm-- ф100mm、
　　　　　   厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)；
7、照明均勻性：±6%（ф100mm 范圍）；
8、掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm;　 Y: ±5mm;　θ: ±6°；
9、汞燈功率：200W（直流）；
10、曝光波長：365nml
11、曝光能量密度：6mW/cm (420nm以上波長小于0.2mW/cm )l
12、曝光方式：定時（到計時方式）
13、外形尺寸：650mm（長）´600mm(寬)´900mm（高）

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