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馬鞍山半導體制造廢氣酸氣處理辦法
本系列酸霧吸收凈化塔因采用了鼓泡工藝,與國內外一般酸霧凈化塔相比,它具有凈化效率高、架構緊湊、占地面積小等特點、是目前化工、機械、電子、冶金、儀表等行業廢氣處理的新型凈化設備。廢氣洗滌凈化塔采用氫氧化鈉溶液為吸收中和液。廢氣由風機壓入凈化塔中,內筒形成壓力室,再由壓力室均配給各根鼓泡管,廢氣通過鼓泡管進入貯液箱的吸收中和液中產生鼓泡,然后氣泡通過填料層,使氣液再次得到充分接觸后,經除沫裝置除霧,然后排入大氣。
結構及特點
(1)省去了一般凈化塔的循環水泵系統;
(2)采用廢氣直接進入水中的飽和接觸,化學反應充分,凈化效率高;
(3)采用了比表面積大,孔隙率高、排列均勻的新型填料。
廢氣洗滌塔的特點:
1、凈化效率可達98%以上
2、結構簡單,壓損小
3、處理風量大,性能穩定
4、操作維護簡單、方便
5、設備使用壽命長
廣泛用于化工、化學制劑、制藥,采礦、冶金、新能源、機械、輕工實驗室、印刷電路板、半導體制造、印染制造、化工、電子、電鍍等行業等產生的酸霧廢氣的治理。
1、廢氣凈化塔,洗滌塔,噴淋塔,填料塔,酸霧處理塔采用直立式圓形設計。
2、氣液兩相間的傳質是在填料表面的液體與氣體間的相界面上進行。
3、濾填充層,采用環形PP填料,填料空隙率在0.6左右;噴灑角度為80度小孔直徑為3?10mm;該塔設有儲物器。液體噴淋密度為10m3 h m2;空塔氣速為1m 秒;液氣比為:1kg:1kg.
4、塔體用耐酸堿8mm厚PP板材質制作,水箱采用耐酸堿8mm厚PP板材質,內含PP網板過濾器裝置
5、除霧防水層采用PP塑膠絲填充
6、循環,進水,排水管道均為獨立系統,采用PVC管道。
7、觀測視窗采用圓形設計,以便更清晰觀測運行情況以及檢修 噴頭采用螺旋實心錐噴霧咀。
馬鞍山半導體制造廢氣酸氣處理辦法