IC693ACC338

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將程序輸入 PLC

當使用簡易編程器將程序輸入 PLC 時，需要先將梯形圖轉換成指令助記符，以便輸入。當使用可編程序控制器的輔助編程軟件在計算機上編程時，可通過上下位機的連接電纜將程序下載到 PLC 中去。

（ 7 ）進行軟件測試

程序輸入 PLC 后，應先進行測試工作。因為在程序設計過程中，難免會有疏漏的地方。因此在將 PLC 連接到現場設備上去之前，必需進行軟件測試，以排除程序中的錯誤，同時也為整體調試打好基礎，縮短整體調試的周期。

（ 8 ）應用系統整體調試

在 PLC 軟硬件設計和控制柜及現場施工完成后，就可以進行整個系統的聯機調試，如果控制系統是由幾個部分組成，則應先作局部調試，然后再進行整體調試；如果控制程序的步序較多，則可先進行分段調試，然后再連接起來總調。調試中發現的問題，要逐一排除，直至調試成功。

（ 9 ）編制技術文件

系統技術文件包括說明書、電氣原理圖、電器布置圖、電氣元件明細表、 PLC 梯形圖。

AMAT CENTURA 512417 RING, SIGE PRE HEAT CVD SiC SOLID

NOVELLUS 02-034310-00 KIT CHAMBER TOP V-PORT SPEED,ASSY MODULE,CONT,PENTIUM

AMAT 0040-07962 RING, CLAMP, LOWER, 200MM, LTE/E-CLEAN

AMAT 0010-39338 200MM SWLL LLA SINGLE SLOT WAFER LIFT HO

AMAT 0010-37735-REFURB IPS BIAS RF MATCH ASSEMBLY

AMAT 0015-01305ITL PCB VME PMAC VACUUM

AMAT 0242-15018 KIT,IS,CONS,PLANAR,200MM NOTCH,KALREZ

AMAT 0190-70079W PWRSP RF 60 MHZ 100W 50/50HZ THREE PHASE

AMAT 0010-40296 ANTENNA-DOME ASSY,DOS,MARK IV,CHAMBER

NOVELLUS 15-120948-00-REFURB CYLINDER,SOURCE,DFE

AMAT 9090-01273 PRE-ACCEL/AMAG CONTROL CHASSIS

AMAT 0010-40256 LIFT ACTUATOR ASSY, E-CHUCK

AMAT 0190-70079 60MHz 1kW RF POWER SUPPLY; COMDEL INC MODEL #: CPS-1001

AMAT 9090-00842 SRCE/MAG Q3 TURBO CTLRS LEYBLD

AMAT 0090-35771 ASSEMBLY, GAS HEAT EXCH.,TANTALUM

AMAT 0010-75277 CASSETTE ASSY LLA (PA200-79MDT) CORROSIO

AMAT 0224-49143 LFC, .2G/MIN

EDWARDS VACUUM INC RS0032326 EDWARDS QDP80 208V 60HZ WITH FITTING KIT TEST RESU

EDWARDS VACUUM INC RS0032603 EDWARDS QDP80 GM 200V 60HZ WITH FITTING KIT - TEST

EDWARDS VACUUM INC 17178964 EDWARDS IL70 HEAC 200-208V 30 50-60HZ

EDWARDS RS0031708 EDWARDS QDP80 GM 200V 60HZ WITH FITTING AND

AMAT 9010-02159 EXTRACTION ROTATE/SIDE MECH

EBARA J2-12SLOT (2) AVME-352, (3) AVME-510, (3) UV-250, (1)

AMAT 0920-00113 ADVANCED ENERGY RF APEX 3013, 3156113-012

AMAT 0920-00114 APEX, A3L5L000BA140D111A, GENERATOR, BIAS DPS2

EDWARDS VACUUM INC 13952 EDWARDS QPD80 GM 200V 60HZ WITH FIITING KIT -

AMAT 3920-00249 DRY NOVA XE ILLUMINATION ASSY, 510-20000-02

AMAT 0020-13814 200MM BLADE W/WAFER POCKET MC-ROBOT P500

AMAT 3620-00234-REFURB 3620-00234W..PUMP HELICAL GROOVED VACUUM ISO-B160 TO