SMX-2SN氣體混合配比器

YUTAKA高純度半導體壓力調節器

L20 系列 RoHS 指令兼容產品

高壓力流率標準

SUS316L，SUS + 哈氏 ? 60 NL/min14.8 MPa0.99 MPa

高純度半導體制造工藝精密壓力調節器

L25 系列 RoHS 指令兼容產品

低氣壓標準流率類型

SUS316L，SUS + 哈氏 ? 20 NL/ min6 MPa0.99 MPa

高純度半導體制造工藝的精密壓力調整儀器打開

L21 系列 RoHS 指令兼容產品

高壓力流率標準

SUS316L，SUS + 哈氏 ? 20 NL/min14.8 MPa0.99 MPa

高純度半導體制造工藝精密壓力調節器

L26 系列

低氣壓標準流率類型

SUS316L，SUS + 哈氏 ? 20 6 MPa0.99 m p a，NL/min0.99 MPa 2 MPa

高純度半導體制造工藝精密壓力調節器

L35 系列 RoHS 指令兼容產品

在低氣壓放電類型

SUS316L，SUS + 哈氏 ? 100 NL/ min6 MPa0.9 MPa

高純度半導體制造工藝精密壓力調節器

L61 系列

高壓高流量類型

SUS316L，SUS + 哈氏 ? 300 NL/min14.8 MPa0.8 MPa

高純度半導體制造工藝精密壓力調節器

L62系列

針型高壓高流量類型

SUS316L，SUS + 哈氏 ? 300 NL/min14.8 MPa0.8 MPa

高純度半導體制造工藝精密壓力調節器

L81 系列 RoHS 指令兼容產品

兩級標準流率類型

SUS316L，SUS + 哈氏 ? 25 NL/min14.8 MPa0.6 MPa

高純度半導體制造工藝精密壓力調節器

L88 系列

兩級標準流率類型

SUS316L25 NL/min14.8 MPa0.99 MPa

高純度半導體制造工藝精密壓力調節器

L96 系列

絕對壓力類型

SUS316L，SUS + 哈氏 ? 5 NL/min0.99 m p a-0.1 ~ 0 ~ 0.2 m p a

高純度半導體制造工藝精密壓力調節器

LH1 系列

低氣壓高流量類型

SUS316L，SUS + 哈氏 ? 500 NL/細胞 min6 MPa0.8 MPa

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高純度半導體制造工藝精密壓力調節器

LH2 系列

低氣壓高流量類型

SUS316L，SUS + 哈氏 ? 500 NL/ min6 MPa0.8 MPa

高純度半導體制造工藝精密壓力調節器

LM1 系列 RoHS 指令兼容產品

低氣壓高流量類型

SUS316L700 NL/min2 MPa0.8 MPa

高純度半導體制造工藝的精密壓力調整儀器打開

LM2 系列 RoHS 指令兼容產品

針型低氣壓高流量類型

SUS316L700 NL/min2 MPa0.8 MPa

高純度半導體制造工藝精密壓力調節器

LL1 系列

低氣壓高流量類型

SUS316L1000 NL/min2 MPa0.8 MPa

高純度半導體制造工藝精密壓力調節器

LL2 系列 RoHS 指令兼容產品

低氣壓高流量類型

SUS316L1500 NL/min2 MPa0.8 MPa

高純度半導體制造工藝精密壓力調節器

L18系列 RoHS 指令兼容產品

小標準流量率類型

SUS316L，SUS + 哈氏 ? 20 NL/min0.99 MPa0.6 MPa

高純度半導體制造工藝精密壓力調節器

L18H 系列 RoHS 指令兼容產品

在小流量率類型

SUS316L，SUS + 哈氏 ? 30 NL/min0.99 MPa0.7 MPa

高純度半導體制造工藝 w/o 型精密壓力調節器

LS2 系列

低氣壓標準流率類型

SUS316L，SUS + 哈氏 ? 20 NL/min2 MPa0.6 MPa