低溫等離子廢氣處理技術(shù)，采用雙介質(zhì)阻擋放電形式產(chǎn)生等離子體，所產(chǎn)生等離子體的密度是其他技術(shù)產(chǎn)生等離子體密度的1500倍，最初用于氟利昂類、哈隆類物質(zhì)的分解處理，后延伸至工業(yè)惡臭、異味、有毒有害氣體處理。該技術(shù)節(jié)能、環(huán)保，應(yīng)用范圍廣，所有化工生產(chǎn)環(huán)節(jié)產(chǎn)生的惡臭異味幾乎都可以處理，并對二惡英有良好的分解效果。

等離子體工業(yè)廢氣處理技術(shù)已研制出標(biāo)準(zhǔn)化廢氣治理設(shè)備，利用所產(chǎn)生的高能電子、自由基等活性粒子激活、電離、裂解工業(yè)廢氣中的各組成份，使之發(fā)生分解，氧化等一些列復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，再經(jīng)過多級凈化，從而消除各種污染源排放的異味、臭味污染物，使有毒有害氣體達(dá)到低毒化、無毒化，保護(hù)人類生存環(huán)境。由于其對污染物分子的高效分解且處理能耗低等特點(diǎn)，為工業(yè)廢氣的處理開辟了一條新的思路。

低溫等離子凈化器采用低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染介質(zhì)時(shí)，等離子體中的高能離子起決定性的作用。廢氣和惡臭氣體經(jīng)過等離子體電場區(qū)，在納秒級時(shí)間范圍內(nèi)流星雨?duì)畹母吣茈x子與介質(zhì)內(nèi)分子(原理）發(fā)生非彈性碰撞，等離子猛烈轟擊廢氣和臭味等污染物分子，產(chǎn)生裂變分解反應(yīng)，將能量轉(zhuǎn)化成基態(tài)分子（原子）的內(nèi)能，發(fā)生激發(fā)，離解、電離等一系列過程使污染介質(zhì)處于活性狀態(tài)，污染介質(zhì)在等離子體的作用下，產(chǎn)生高濃度、高強(qiáng)度、高能量的各種活性自由基、高能電子、高能離子等，同時(shí)產(chǎn)生大量臭氧、原子氧、生態(tài)氧等混合氣體，進(jìn)行一系列復(fù)雜的分化裂解和氧化還原反應(yīng)。（初級電子在電場中獲得加速，撞擊空氣中的氧分子。當(dāng)能量超過氧分子的電離電位時(shí)氧分子迅速離子化。失去電子的氧分子變成正極性氧離子（O2+），而釋放的電子又與另一中性氧分子結(jié)合變成負(fù)極性養(yǎng)離子（O2-)，結(jié)果是氧離子的兩極分化并吸附中性氧分子形成O2+、O2-、O2等氧聚集的離子群，具有極強(qiáng)的氧化性，可在很短的時(shí)間內(nèi)將污染空氣中的有害成分分解為無害的產(chǎn)物和水）從凈化空氣效率考慮，我們選擇了電暈電流較高化裝置采用脈沖電暈放電低溫等離子體與吸附技術(shù)相結(jié)合的原理對有害氣體進(jìn)行消除，其中低溫等離子體主要用來去除、氨、苯、、丙、、樹、等氣體及消滅菌，吸附材料主要用于去除及臭等副產(chǎn)物。凈化裝置由初濾單元低溫等離子體發(fā)生器及過濾單元，風(fēng)機(jī)等設(shè)備和部件組成。

低溫等離子凈化器內(nèi)部裝有獨(dú)特的碰吸單元，截留去除廢氣中的顆粒物質(zhì)，廢氣收集系統(tǒng)收集的多元素氣體經(jīng)過等離子活性氧凈化裝置，在高壓等離子電場的作用下，電離初始態(tài)氧將其中的廢氣離子進(jìn)行電離荷電凈化，帶電的微小離子(塵埃粒子)被吸附單元所收集并流入和沉積到氣體處理裝置的儲塵箱內(nèi)，氣體內(nèi)的有害氣體被電場內(nèi)所產(chǎn)生的臭氧所殺菌，并去除了異味，有害氣體被除掉，達(dá)到廢氣處理的目的。

吸附催化凈化處理裝置是一種干式廢氣處理設(shè)備。由箱體和裝填在箱體內(nèi)的吸附單元組成，吸附單元根據(jù)廢氣處理要求添加催化劑達(dá)到進(jìn)一步去處異味氣體的目的。控制系統(tǒng)主要用來控制系統(tǒng)開機(jī)、停運(yùn)，并對系統(tǒng)運(yùn)行效果進(jìn)行檢測，反饋系統(tǒng)的運(yùn)行狀態(tài)和技術(shù)參數(shù)，從而使設(shè)備處于運(yùn)行狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)無人值守。

氣體收集系統(tǒng)—預(yù)處理噴淋洗滌系統(tǒng)—低溫等離子凈化系統(tǒng)—深度氣體吸附催化系統(tǒng)—排放系統(tǒng)—控制系統(tǒng)氣體收集系統(tǒng)主要是將構(gòu)筑物自由揮發(fā)的氣體收集起來并輸送到后續(xù)處理系統(tǒng)。具體包括氣罩系統(tǒng)、管道輸送系統(tǒng)和風(fēng)機(jī)。

廢氣處理中洗滌系統(tǒng)用來和廢氣在洗滌塔內(nèi)進(jìn)行預(yù)處理化學(xué)反應(yīng)，去處粉塵且通過化學(xué)反應(yīng)后的氣體達(dá)到廢氣一級凈化處理，具體包括專用填料、噴淋裝置、脫水層、風(fēng)機(jī)、加藥系統(tǒng)等。