高真空系
滑閥式真空泵
（Rotary Piston Vacuum Pump）
廣泛應(yīng)用于真空拉晶、真空鍍膜、真空冶金、真空熱處理、真空浸漬、真空干燥、真空蒸餾、真空練泥、航空航天模擬試驗(yàn)等新材料、新技術(shù)、新工藝的生產(chǎn)與研制中。
滑閥真空泵可單獨(dú)使用，也可作為羅茨真空泵、油增壓泵、
油擴(kuò)散泵的前級(jí)泵的使用。當(dāng)抽吸對(duì)黑色金屬有腐蝕、對(duì)真空油起化學(xué)反應(yīng)、含大量蒸汽、大量粉塵的氣體時(shí)，需附加裝置。優(yōu)點(diǎn)：相比旋片式真空泵耐用性要高好幾倍且抽氣速率大，價(jià)格相對(duì)高一點(diǎn)。
用來(lái)抽除密閉容器的氣體的基本設(shè)備之一。它可以單獨(dú)使用，也可作為
增壓泵、擴(kuò)散泵、分子泵的前級(jí)泵使用。該型泵廣泛應(yīng)用于冶金、機(jī)械、電子、化工、石油、醫(yī)藥等行業(yè)的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理，真空干燥等工藝過(guò)程中。
( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )
具有結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，重量輕，噪音低，振動(dòng)小等優(yōu)點(diǎn)。所以，它適用于作擴(kuò)散泵的前級(jí)泵，而且更適用于精密儀器配套和實(shí)驗(yàn)室使用。例如：質(zhì)譜儀器，
冰箱流水線，真空
冷凍干燥機(jī)等。
羅茨真空泵
( Roots Vacuum Pump )
是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡?，須有前?jí)泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)，有較大的抽速，對(duì)被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感。廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。主要用于真空機(jī)組的
主泵，需要用前級(jí)泵輔助。如：水環(huán)式真空泵，滑閥真空泵，立式無(wú)油真空泵，分子真空泵等。國(guó)內(nèi)最大羅茨真空泵保持紀(jì)錄為20000L/S。
性能參數(shù)
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參數(shù)名稱
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參數(shù)定義
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真空泵的極限壓強(qiáng)
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泵的極限壓強(qiáng)單位是Pa，是指泵 在入口處裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩 并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的最低壓強(qiáng)。
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真空泵的抽氣速率
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泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試 驗(yàn)罩，并按規(guī)定條件工作時(shí)，從試驗(yàn)罩 流過(guò)的氣體流量與在試驗(yàn)罩指定位置測(cè)得的平衡壓強(qiáng)之比。簡(jiǎn)稱泵的抽速。
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真空泵的抽氣量
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真空泵的抽氣量 單位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的氣體流量。
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真空泵的起動(dòng)壓強(qiáng)
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真空泵的起動(dòng)壓強(qiáng)單位為Pa，它是指泵無(wú)損壞起動(dòng)并有抽氣作用 時(shí)的壓強(qiáng)。
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真空泵的前級(jí)壓強(qiáng)
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真空泵的前級(jí)壓強(qiáng) 單位是Pa，它是指排氣壓強(qiáng) 低于一個(gè)大氣壓的真空泵的出口壓強(qiáng)。
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真空泵的最大前級(jí)壓強(qiáng)
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真空泵口最大前級(jí)壓強(qiáng)單位是Pa，它是指超過(guò)了 能使泵損壞 的前級(jí)壓強(qiáng)。
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真空泵的最大工作壓強(qiáng)
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真空泵的最大工作壓強(qiáng)單位是Pa，它是指對(duì)應(yīng)最大抽氣量 的入口壓強(qiáng)。在此壓強(qiáng)下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。
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真空泵的壓縮比
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壓縮比是指泵對(duì)給定氣體的出口壓強(qiáng)與入口壓強(qiáng)之比。
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真空泵的何氏系數(shù)
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泵抽氣通道面積上的實(shí)際抽速 與該處按分子瀉流計(jì)算的理論抽速 之比。
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真空泵的抽速系數(shù)
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泵的實(shí)際抽速與泵入口處按分子瀉流計(jì)算的理論抽速之比。
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真空泵的返流率
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泵的返流率 單位是g/cm2.s。它是指 泵按規(guī)定條件工作時(shí)，通過(guò)泵入口單位面積的泵流質(zhì)量流率。
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水蒸氣允許量
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水蒸氣 的允許量單位是kg/h，它是指泵在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵 在連續(xù)工作時(shí)能抽除的水蒸氣質(zhì)量流量。
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最大允許水蒸氣入口壓強(qiáng)
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最大允許水蒸氣入口壓強(qiáng) 單位是Pa。它是指 在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時(shí)所能抽除的水蒸氣的最高入口壓強(qiáng)。
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壓強(qiáng)范圍
真空泵種類 工作壓強(qiáng)范圍（Pa） 起動(dòng)壓強(qiáng)（Pa）
活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105
旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105
水環(huán)式真空泵 1×105—2.7×103 1×105
羅茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103
水蒸氣噴射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
油擴(kuò)散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10
油蒸氣噴射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105
分子篩吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
濺射離子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1
鈦升華泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2
鋯鋁吸氣劑泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10
低溫泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1
