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MEMS 酒精氣體傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板，所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料。當傳感器所處存在氣體環(huán)境中時，傳感器的電導率隨空氣中被檢測氣體的濃度而發(fā)生改變。該氣體的濃度越高，傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。
檢測氣體種類
酒精（C2H5OH）： 1– 500ppm
傳感器特點
低功耗
高靈敏度
結(jié)構(gòu)堅固
MEMS工藝
簡單的驅(qū)動電路
快速的響應恢復特性
主要應用
適用于手機、電腦等消費類子產(chǎn)品應用檢測所處場所的乙醇蒸汽也適用于機動車駕駛?cè)藛T及其他風險作業(yè)人員的酒后監(jiān)督
技術(shù)指標
| 氣敏元件特性 | 符號 | 標準值 | 最小值 | max值 | 單位 |
| 傳感器電阻 | R0 | - | 100 | 500 | KΩ |
| 氣體（C2H5OH）檢測濃度 | FS | - | 1 | 500 | ppm |
| 靈敏度 | S50 | - | 1.2 | 50 | - |
注：1. R0 是在環(huán)境溫度23±5℃，環(huán)境濕度50±10%RH的標準工作條件下測得；
2. S50 即Rs(50ppm C2H5OH)/R0(in air)是在環(huán)境溫度23±5℃，環(huán)境濕度50±10%RH的條件下，傳感器在50ppm C2H5OH氣氛中的電阻值與傳感器在潔凈空氣中的電阻值的比值。
| 條件 | 符號 | 參數(shù)范圍 | 單位 |
| max加熱功率 | PH | 80 | mW |
| 回路電壓 | VS | 4.9 – 5.1 | V |
| 相對濕度范圍 | RH | 5 – 95 | %RH |
| 工作環(huán)境溫度 | Ta | -10 – 60 | °C |
| 儲存溫度范圍 | TS | -40 – 120 | °C |
| 儲存濕度范圍 | RH | 5 - 95 | %RH |
| 名稱 | 符號 | 標準值 | 最小值 | max值 | 單位 |
| 加熱功率 | PH | 70 | 60 | 80 | mW |
| 加熱電壓 | VH | 2.5 | - | - | V |
| 加熱電流 | IH | 23 | - | - | mA |
| 加熱電阻 | RH | 77 | 70 | 87 | Ω |
注：產(chǎn)品參數(shù)如有變動，恕不另行通知
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