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低溫等離子法
1、低溫等離子是內外電極在高壓狀態下進行間隙放電，間隙間通過的氣體被電離的過程。由于放電電壓較高38000v，電子在與空氣中的氮氣碰撞產生大量的氮氧化物，造成二次污染。
臭氧發生器與低溫等離子放電技術和放電原理一樣，而放電電壓3500v，幾乎無氮氧化物產生。(老式工頻臭氧發生器35000v，使用一段時間后，罐體內會產生大量氮氧化物溶膠，3500v放電，無任何殘余物)
2、粉塵類物質，無論怎么過濾去除，總會有部分殘余。由于廢氣是流經低溫等離子放電區域的，淀粉、糊精等物質會粘附在內外電極表面，從而使低溫等離子放電性能大大降低或導致設備損壞。
水冷式工業用大型臭氧發生器設備本身與廢氣無任何關聯，不會導致這一問題發生。(如果選用老式內置式臭氧發生器，放置于廢氣流通通道中，會和所謂的低溫等離子一個性質，同樣會因為電極結垢而損壞)
3、低溫等離子脈沖電源技術不穩定，一組一電源，多組累加進行放電，相互中頻干擾大，電源易損。臭氧發生器一機一電源，即使100kw機器，也是一個控制柜，一臺變壓器，一臺放電室，技術成熟，可以長時間24小時連續穩定運行。
4、低溫等離子1m?3;/h廢氣耗電約2-5w，10000m?3;廢氣耗能約20-50KW。1.2kg/h臭氧發生器能耗為16kw，處理廢氣量約30000-50000m?3;/h，10000m?3;能耗為3-5kw。
5、低溫等離子名義上是電離廢氣，實際是電離空氣產生臭氧，利用臭氧的強氧化性來進行廢氣處理。

6、低溫等離子的放電效果和空氣的濕度有極大的關系，濕度越大能耗越大，大量能量會被水分子吸收，從而降低電離效果。而臭氧產生是自己一套完整而成熟的系統，不受濕度和溫度的影響。
7、低溫等離子處理廢氣，廢氣直接經過放電系統，對于易燃易爆氣體帶來很大安全隱患，容易造成火災等重大安全事故，實例有小鳥電動車噴漆廢氣采用低溫等離子體發生爆炸。防爆環境絕對不允許使用。而臭氧投加是以管道形式把臭氧氣體通入氧化塔體中，臭氧發生系統內部與廢氣無任何接觸，沒有任何安全隱患。
8、臭氧的產生要求干燥空氣，空氣露點在-40℃以下，產生的臭氧量能達到20-30mg/L。而常規空氣不經過干燥處理，產生量只有標準產量的十分之一。這就是水分子對能量損耗的最好說明。而對于臭氧的氧化性能要求濕度越大，氧化效果越好。
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