低溫等離子廢氣處理設備在對付有機廢氣處理上具備以下幾點優勢：經氣味測定法測試，該技術可以達到90%以上的惡臭消除率；該技術的資本投入低于傳統的制冷式生物過濾器；由于不需要任何的預熱時間，所以該裝置可以即時開啟與關閉；它所占空間比現有的其他技術更小；它可以不經過過濾就可運作，所以不產生任何液體排泄；它是模塊式結構，所以更簡易地進行易地搬遷；它可以在達80℃的溫度下運作，由于具有類似靜電沉淀的功能，所以它同時具有消塵作用；只需限度的維護。設備和技術性能穩定可靠。研究表明采用低溫等離子體空氣凈化設備，不僅可以減少等離子體電耗,而且可控制有害副產物的形成,提高性能價格比。從而將潔凈、新鮮的空氣還給人們。
    低溫等離子廢氣處理設備是一種新型、高效的干法處理有機廢氣的凈化設備，它改變了使用活性炭材料的工藝技術，無需再生處理原料，無需專人負責，無產生二次污染，更換及維護保養方便，是近年來治理有機廢氣技術中先進的一項技術。
低溫等離子廢氣處理設備技術作用原理低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。