飛創精密直線模組在半導體激光檢測的技術應用

飛創FMC H/L U/R高精高速單軸直線電機模組

有效行程 : Max1000mm
光柵分辨率 : 5um-10nm
重復定位精度 : H±1um、L±50nm
最大運行速度 : 1m/s-5m/s
最大加速度 : 2G-5G
應用行業 : 電子、半導體、激光、檢測

飛創FMCL H/L U/R 高速高精單軸直線電機模組

FML 系列 H/L U/R單軸直線模組
有效行程 : Max1000mm
光柵分辨率 : 5um-10nm
重復定位精度 : H±0.5um、L±10nm
最大運行速度 : 1m/s-5m/s
最大加速度 : 2G-5G

飛創FMS H/L U高速高精單軸直線電機模組

有效行程 : Max1000mm
光柵分辨率 : 5um-10nm
重復定位精度 : H±0.5um、L±10nm
最大運行速度 : 1m/s-5m/s
最大加速度 : 2G-5G
應用行業 : 電子、半導體、激光、檢測

飛創XY軸系列直線電機模組

有效行程：300 * 180 mm
光柵分辨率：1um
重復定位精度：±3um
X-Y行走平行度：±3um
最大運行速度：800 mm/s
最大加速度：15m/s2
應用行業：電子、半導體行業

飛創Z軸系列直線電機模組

Z軸需要選擇合適的恒力氣彈簧來配平
有效行程：150mm
光柵分辨率：1um
重復定位精度：±3um
最大運行速度：800mm/s
最大加速度：500mm/s2
應用行業：電子、半導體行

飛創大理石系列直線電機模組

技術參數

有效行程：400*200*100
光柵分辨率：1um
重復定位精度：±2um
最大運行速度：1000mm/s
最大加速度：20m/s2
三軸正交垂直度：±5um
應用行業：激光行業、汽車行業

飛創龍門系列直線電機模組

有效行程：300*180
光柵分辨率：1um
重復定位精度：±5um
最大運行速度：1000mm/s
最大加速度：20m/s2
應用行業：電子行業工件裝配機械手

直線模組，也叫線性模組，是一種將直線運動平臺模塊化的運動單元，把導軌系統和傳動系統進行精密的組裝，集成到一個單元中。這種系統集成極大地方便了工程師的設計選型工作，讓設備的組裝變簡單化、模塊化。市面上常見的機械傳動系統有這幾種：絲杠，同步帶，齒輪齒條；這些傳動系統的驅動，通過旋轉電機/減速機來實現；這些機械傳動系統，由于傳動鏈比較長，系統累計誤差等原因，導致傳動精度和響應速度不能滿足某些應用的要求。

而如果用直線電機來實現直接驅動，就省去了減速機，絲杠/皮帶/齒輪齒條等傳動鏈中間環節，提高了系統的傳動精度和響應速度；集成了直線電機的直線模組，被稱為直線電機模組或直線電機滑臺：

直線電機在工業設備中的應用，主要在機床方便比較突出，近幾年，國際上對數控機床采用直線電機顯得特別熱，究其原因是，傳統機床的驅動裝置絲桿驅動，絲桿驅動本身具有：長度限制，機械間隙，摩擦后精度問題等，而直線電機可以實現超高的精度，速度是絲杠的10倍甚至更多。

直線電機特點：

高速 – 最高可達 10 m/s，平均值3 m/s

高精度 – 微米（亞微米級）級定位精度.
高響應

剛性- 比一般機械系統加速能力強

零背隙 – 直接驅動

易維護 – 簡單的機械部件，沒有機械連接
可定制范圍廣，有效行程20mm~60m，避免了滑臺的弱點：絲杠的變形和皮帶的松動等現象

直線電機定位平臺
：

客戶可根據自己需求自行組裝
，定制直線平臺，
直線電機，
直線導軌
，光柵尺反饋
，機械設計

飛創直線模組目前致力于發展：超高速、高精度、長行程直線模組（單軸、雙軸、大理石、龍門單雙驅等）直線模組、線性模組、直線導軌滑臺模組的非標定制，可根據用戶需求定制各種行程及特殊要求的線性模組、直線電機模組，如需技術支持或詢價請聯系飛創直線模組技術工程師。